[發明專利]一種氣體檢測用雙帶通窄帶濾光片及制作方法

在審

• 申請號: 202211250020.5
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN115508932A
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 林新佺
• 申請（專利權）人: 深圳市激埃特光電有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02B27/00
• 代理公司: 北京子焱知識產權代理事務所(普通合伙) 11932
• 代理人: 陳涵瀛

本發明涉及一種氣體檢測用雙帶通窄帶濾光片及制作方法，其方法包括步驟有：選擇并清潔中間層基材，將中間層基材設置在鍍膜真空腔中加熱并恒溫控制；對鍍膜顆粒預熔，對中間層基材進行離子轟擊，然后對上膜結構鍍制，上膜結構完成鍍制后對下膜結構鍍制；其中，對上膜結構鍍制及對下膜結構鍍制過程中通過動態獲取每一個膜結構復合方案對應的性能評價參數進而動態調整下一次鍍制過程中膜結構復合方案，直到膜結構復合方案為最優方案。本申請制作的濾光片能較全面提高綜合性能。

技術領域

本發明涉及一種氣體檢測用雙帶通窄帶濾光片及制作方法。

背景技術

現有的氣體檢測用濾光片多數采用預先固化設計，然后制作封裝，雖然這種技術也能一定程度提高濾光片性能，但在應用中這種濾光片一般只能提高單一性能，不能較全面提高綜合性能，尤其，比如現有技術中CN113341492B公開的濾光片，該種類的濾光片結構非常固化，比如其各層的具體參數被明確限定，并且制作工藝也很單一，這樣制作的濾光片性能也比較差。

發明內容

為了克服現有的技術存在的不足，本發明提供一種氣體檢測用雙帶通窄帶濾光片及制作方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案：

一種氣體檢測用雙帶通窄帶濾光片的制作方法，包括步驟有：

選擇并清潔中間層基材，將中間層基材設置在鍍膜真空腔中加熱并恒溫控制；對鍍膜顆粒預熔，對中間層基材進行離子轟擊，然后對上膜結構鍍制，上膜結構完成鍍制后對下膜結構鍍制；其中，對上膜結構鍍制及對下膜結構鍍制過程中通過動態獲取每一個膜結構復合方案對應的性能評價參數進而動態調整下一次鍍制過程中膜結構復合方案，直到膜結構復合方案為最優方案。

進一步，所述的上膜結構和下膜結構均為多層復合鍍制膜結構，所述的膜結構復合方案具體指用于確定唯一的多層復合鍍制膜結構并標注每一層膜鍍制厚度的參數組合方案，膜結構復合方案由矩陣結構表征；性能評價參數指在膜結構復合方案確定后根據該膜結構復合方案所鍍制完成的上膜結構或下膜結構對應的評價性能的參數形成的數組。

進一步，所述的膜結構復合方案具體為：