[發明專利]一種鉑釕合金靶材及其制備方法和應用有效
| 申請號： | 202211242615.6 | 申請日： | 2022-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN115537593B | 公開（公告）日： | 2023-05-30 |
| 發明（設計）人： | 趙宏達;劉革;宋俊俊;李婷;張娜;于述鵬;常占河;相廣海 | 申請（專利權）人： | 沈陽東創貴金屬材料有限公司 |
| 主分類號： | C22C5/04 | 分類號： | C22C5/04;C22C1/02;C22F1/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 王苗苗 |
| 地址： | 110015 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 及其 制備 方法 應用 | ||
1.一種鉑釕合金靶材，其特征在于，包括以下質量分數的化學成分：Pt79.98～94.98％，Ru5.0～20.0％，V0.01～0.05％，Cr0.01～0.05％；
所述鉑釕合金靶材的制備方法包括以下步驟：
將Pt、Ru、V和Cr熔化后依次進行精煉和澆注，得到鑄坯；
將所述鑄坯依次進行熱鍛、軋制和退火，得到鉑釕合金靶材；
所述Ru在使用前進行預處理，所述預處理的方法為：將釕粉壓制成塊體，然后進行燒結，燒結后的釕塊體破碎后使用；所述燒結的溫度為1000～1150℃，所述燒結在氬氣保護條件下進行，所述燒結的時間為30～35min。
2.根據權利要求1所述的鉑釕合金靶材，其特征在于，所述鉑釕合金靶材的厚度為0.5～5mm。
3.權利要求1或2所述鉑釕合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
將Pt、Ru、V和Cr熔化后依次進行精煉和澆注，得到鑄坯；
將所述鑄坯依次進行熱鍛、軋制和退火，得到鉑釕合金靶材；
所述Ru在使用前進行預處理，所述預處理的方法為：將釕粉壓制成塊體，然后進行燒結，燒結后的釕塊體破碎后使用；所述燒結的溫度為1000～1150℃，所述燒結在氬氣保護條件下進行，所述燒結的時間為30～35min。
4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述熔化和精煉在高頻真空感應熔煉爐中進行，所述熔化和精煉均在氬氣保護下進行。
5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述精煉的溫度為2000～2200℃，保溫時間為3～5min。
6.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述熱鍛的溫度為1400～1500℃。
7.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述軋制的總加工率為50～75％，道次加工率為5～10％。
8.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述退火的溫度為1100～1250℃，時間為20～30min。
9.權利要求1或2所述的鉑釕合金靶材或權利要求3～8任意一項所述制備方法制備的鉑釕合金靶材在真空磁控濺射中的應用。
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