[發明專利]一種掩膜版生產過程中的污染物監測方法及系統在審
| 申請號： | 202211239408.5 | 申請日： | 2022-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN115310730A | 公開（公告）日： | 2022-11-08 |
| 發明（設計）人： | 楊偉;謝雙軍 | 申請（專利權）人： | 中科卓芯半導體科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G06Q10/04 | 分類號： | G06Q10/04;G06Q10/06;G06Q50/04;G06F16/903;G06N7/00;G06T7/00;G07C3/00;G07C3/14;G08B21/24;G01N21/94;G01N15/06 |
| 代理公司： | 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261 | 代理人： | 李蓉蓉 |
| 地址： | 215600 江蘇省蘇州市張家*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜版 生產過程 中的 污染物 監測 方法 系統 | ||
1.一種掩膜版生產過程中的污染物監測方法，其特征在于，包括：
獲得當前生產工序信息；
根據所述當前生產工序信息在工序污染物數據庫進行工序匹配，確定工序污染物信息集；
基于所述工序污染物信息集進行污染物特征分析，得到污染物監測特征、監測手段信息；
根據所述監測手段信息對生產工序過程進行監測，獲得監測信息，并基于所述污染物監測特征對所述監測信息進行遍歷，確定監測結果；
當所述監測結果存在污染物時，且污染物滿足污染物設定要求時，根據所述監測結果生成提醒信息；
當未達到污染物設定要求時，將所述監測結果、所述當前生產工序信息錄入生產鏈中，所述生產鏈為根據生產工序過程構建的生產數據鏈；
基于所述生產鏈進行生產全過程污染物影響預測，當存在污染物影響時，生成污染監測提醒信息。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：
獲得歷史加工檢驗數據庫；
根據所述歷史加工檢驗數據庫進行缺陷案例提取，獲得缺陷案例集；
根據所述缺陷案例集進行缺陷特征提取，得到缺陷特征信息，從所述缺陷特征信息中篩選污染物缺陷特征；
根據所述污染物缺陷特征與生產加工工序進行缺陷特征匹配分析，確定污染物-工序映射關系；
將所有污染物-工序映射關系進行整合，構建所述工序污染物數據庫。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述監測手段信息包括：圖像監測、檢測儀監測，當所述監測手段信息為圖像監測時，通過圖像采集設備對生產加工件進行多角度圖像采集，所述監測信息為多角度圖像集；
基于所述污染物監測特征進行卷積網絡模型訓練，獲得圖像識別模型；
將所述多角度圖像集輸入所述圖像識別模型中，獲得污染物識別結果，將所述污染物識別結果作為所述監測結果。
4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，所述通過圖像采集設備對生產加工件進行多角度圖像采集，還包括：
在預設光線條件下對生產加工件進行旋轉，通過圖像采集設備對生產加工件進行旋轉多角度采集，獲得視頻信息；
對所述視頻信息進行逐幀提取，獲得畫面集；
根據所述畫面集進行幀時間順序排序。
5.如權利要求3所述的方法，其特征在于，將所述多角度圖像集輸入所述圖像識別模型中之前，包括：
對所述多角度圖像集進行濾波處理，獲得濾波圖像集；
對所述濾波圖像集進行分解，獲得圖像細節層；
通過金字塔分層濾波處理方法對所述圖像細節層進行處理。
6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，當所述監測結果不存在污染物時，將所述監測結果、所述當前生產工序信息錄入生產鏈中，包括：
獲得所述生產工序過程，基于所述生產工序過程的先后順序，構建生產鏈，各生產工序作為所述生產鏈節點；
利用所述當前生產工序信息與所述生產鏈節點進行工序匹配，確定匹配生產鏈節點，將所述監測結果與所述匹配生產鏈節點進行關聯。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，基于所述生產鏈進行生產全過程污染物影響預測，包括：
基于所述生產鏈、所述生產鏈節點的監測結果、工序對加工件的狀態變化，構建馬爾可夫鏈模型；
通過所述馬爾可夫鏈模型對出現污染物影響的概率進行預測；
根據預測得到的污染概率，確定工序節點信息，基于所述工序節點信息生成所述污染監測提醒信息。
8.一種掩膜版生產過程中的污染物監測系統，其特征在于，所述系統包括：
工序獲得單元，用于獲得當前生產工序信息；
污染物信息確定單元，用于根據所述當前生產工序信息在工序污染物數據庫進行工序匹配，確定工序污染物信息集；
監測特征分析單元，用于基于所述工序污染物信息集進行污染物特征分析，得到污染物監測特征、監測手段信息；
監測處理單元，用于根據所述監測手段信息對生產工序過程進行監測，獲得監測信息，并基于所述污染物監測特征對所述監測信息進行遍歷，確定監測結果；
工序污染提醒單元，用于當所述監測結果存在污染物時，且污染物滿足污染物設定要求時，根據所述監測結果生成提醒信息；
全生產工序分析單元，用于當未達到污染物設定要求時，將所述監測結果、所述當前生產工序信息錄入生產鏈中，所述生產鏈為根據生產工序過程構建的生產數據鏈；
全過程污染預測單元，用于基于所述生產鏈進行生產全過程污染物影響預測，當存在污染物影響時，生成污染監測提醒信息。
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