[發(fā)明專利]器件鍍膜方法、鍍膜軌道以及器件鍍膜機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211227418.7
• 申請(qǐng)日: 2022-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN115652273A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邢發(fā)軍;郟曉彤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 杭州五洲普華專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33260
• 代理人: 朱林軍

1.一種器件鍍膜方法，其特征在于，包括：

提供載具，將待鍍膜器件設(shè)置在所述載具上；

提供鍍膜軌道和托盤，所述鍍膜軌道具有相互對(duì)接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端對(duì)接，所述托盤與鍍膜軌道配合，能夠在鍍膜軌道上往復(fù)移動(dòng)；

將設(shè)置有待鍍膜器件的載具安裝在托盤上，采用物理氣相沉積方式進(jìn)行鍍膜，鍍膜軌道的第一段坡道和第二段坡道的對(duì)接處位于鍍膜源下方，鍍膜時(shí)，托盤帶動(dòng)載具往復(fù)移動(dòng)，在待鍍膜器件的正面和側(cè)面形成鍍膜層。

2.如權(quán)利要求1所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均傾斜設(shè)置，且相對(duì)于水平面的傾斜角度相同。

3.如權(quán)利要求2所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度a大于等于120°且小于180°。

4.如權(quán)利要求1所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述待鍍膜器件擺放方向與載具運(yùn)動(dòng)方向形成一角度b。

5.如權(quán)利要求4所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述角度b大于等于30°且小于等于60°。

6.如權(quán)利要求1所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述托盤包括基座以及轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在基座上的可轉(zhuǎn)動(dòng)部，所述載具用于安裝在所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部上，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部具有多個(gè)工作位，在不同的工作位，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部相對(duì)基座的轉(zhuǎn)動(dòng)角度不同。

7.如權(quán)利要求1所述的器件鍍膜方法，其特征在于，所述待鍍膜器件通過雙面膠層固定在載具上，所述雙面膠層的一個(gè)表面與所述載具粘接，另一個(gè)表面與待鍍膜器件的背面粘接。

8.一種鍍膜軌道，其特征在于，具有相互對(duì)接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端對(duì)接，鍍膜軌道的第一段坡道和第二段坡道的對(duì)接處用于設(shè)置在物理氣相沉積設(shè)備的鍍膜源的正下方。

9.如權(quán)利要求8所述的鍍膜軌道，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均傾斜設(shè)置，且相對(duì)于水平面的傾斜角度相同。

10.如權(quán)利要求9所述的鍍膜軌道，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度大于等于120°且小于180°。

11.一種器件鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

鍍膜源；

鍍膜軌道，所述鍍膜軌道具有相互對(duì)接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端對(duì)接，鍍膜軌道的第一段坡道和第二段坡道的對(duì)接處位于鍍膜源的正下方；

托盤，所述托板與鍍膜軌道配合，能夠在鍍膜軌道上往復(fù)移動(dòng)；

載具，所述載具安裝在所述托盤上，所述載具用于承載待鍍膜器件。

12.如權(quán)利要求11所述的器件鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均傾斜設(shè)置，且相對(duì)于水平面的傾斜角度相同。

13.如權(quán)利要求12所述的器件鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度大于等于120°且小于180°。

14.如權(quán)利要求11所述的器件鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述載具上具有雙面膠層，所述雙面膠層的一個(gè)表面與所述載具粘接，另一個(gè)表面用于與待鍍膜器件的背面粘接。

15.如權(quán)利要求11所述的器件鍍膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述托盤包括基座以及轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在基座上的可轉(zhuǎn)動(dòng)部，所述載具用于安裝在所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部上，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部具有多個(gè)工作位，在不同的工作位，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)部相對(duì)基座的轉(zhuǎn)動(dòng)角度不同。