[發明專利]正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構的制備方法在審
| 申請號: | 202211225712.4 | 申請日: | 2022-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN115410928A | 公開(公告)日: | 2022-11-29 |
| 發明(設計)人: | 殷炯;田立方;李世平 | 申請(專利權)人: | 江蘇華創微系統有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/495;H01L23/31;H01L23/367 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | mos 芯片 隔離 耐壓 球焊 堆疊 結構 制備 方法 | ||
本發明公開了一種正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構的制備方法,包括以下步驟:S1、采用框架材料制備基板層;S2、在基板層的基島的正面基島上正裝MOS功率芯片;S3、安裝金屬片;S4、對安裝隔離耐壓球焊芯片的位置處進行點底填膠;S5、安裝隔離耐壓球焊芯片;S6、隔離耐壓球焊芯片與金屬片之間焊線進行電氣連接;S7、塑封料包覆正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構。優點,本發明方法,可以有效的減小封裝尺寸,提升MOS功率芯片大電性能及散熱性能;本發明方法中,用底填膠將金屬片和隔離耐壓球焊芯片隔離開,再用塑封料進行保護結構,防止隔離耐壓球焊芯片側邊和金屬片有漏電。
技術領域
本發明涉及正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構的制備方法。
背景技術
目前MOS功率芯片與多顆隔離耐壓芯片為平鋪結構,這就導致整體封裝尺寸非常大;另其中MOS芯片一般為正裝球焊,電性能不佳。
MOS功率芯片3與隔離耐壓芯片5,目前已有的封裝技術為Side by Side平鋪結構,主要用樹脂或灌封膠進行隔離(樹脂或灌封膠的耐壓值很高,可以抗高電壓擊穿導致漏電);封裝示意圖如圖1所示。
如圖1所示,目前已有的技術為隔離耐壓芯片MOS芯片保持安全距離分開,導致封裝尺寸特別大。為了減小封裝尺寸,通過本專利可以有效的減小封裝尺寸降低封裝成本及提高PCB板的利用率,且可以讓MOS芯片有更優的電性能。
發明內容
本發明提出一種正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構的制備方法,該方法中的正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構,適用于一種特殊結構,底下是MOS功率芯片,MOS功率芯片背面接銅面進行散熱。
采取的技術方案如下:一種正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構的制備方法,包括如下步驟:
S1、采用框架材料制備基板層;
S2、在基板層的基島的正面基島上正裝MOS功率芯片;
S3、安裝金屬片,對芯片功能進行輸出;
S4、對安裝隔離耐壓球焊芯片的位置處進行點底填膠;
S5、隔離耐壓球焊芯片安裝在點底填膠的位置處,底填膠隔離開金屬片與隔離耐壓球焊芯片;
S6、隔離耐壓球焊芯片與金屬片之間焊線進行電氣連接;
S7、塑封料包覆所述正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構。
對本發明技術方案的進一步優選,金屬片的兩端之間存在高度差,金屬片的低端設置在基板層的功能管腳上,金屬片的高端與MOS功率芯片的銅柱連接。
對本發明技術方案的進一步優選,S3中金屬片用錫膏貼裝在功能管腳和MOS功率芯片的銅柱上。
本發明與現有技術相比的有益效果是:
本發明方法中的正裝MOS芯片及隔離耐壓球焊芯片堆疊結構,可以有效的減小封裝尺寸,提升MOS功率芯片大電性能及散熱性能;本發明方法中,用底填膠將金屬片和隔離耐壓球焊芯片隔離開,再用塑封料進行保護結構,防止隔離耐壓球焊芯片側邊和金屬片有漏電。
附圖說明
圖1為現有技術中MOS功率芯片與隔離耐壓芯片的平鋪結構示意圖。
圖2為實施例1方法的步驟S1的基板層的示意圖。
圖3為實施例1方法的步驟S2的MOS功率芯片安裝到基板層的示意圖。
圖4為實施例1方法的步驟S3的金屬片安裝的示意圖。
圖5為實施例1方法的步驟S4的對需要安裝的隔離耐壓球焊芯片的位置處進行點底填膠的示意圖。
圖6為實施例1方法的步驟5的安裝的隔離耐壓球焊芯片的示意圖。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





