[發明專利]化學鍍金浴在審
| 申請號: | 202211209004.1 | 申請日: | 2022-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN115961273A | 公開(公告)日: | 2023-04-14 |
| 發明(設計)人: | 田中小百合;前川拓摩;田邉克久;柴山文德 | 申請(專利權)人: | 上村工業株式會社 |
| 主分類號: | C23C18/44 | 分類號: | C23C18/44 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人: | 李雪;姚開麗 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 化學 鍍金 | ||
本發明公開了一種化學鍍金浴,其在ENIG法和ENEPIG法的任一種方法中,能夠以一道工序來形成均勻的具有充分厚度的鍍金膜。化學鍍金浴含有亞硫酸金鹽、硫代硫酸鹽、抗壞血酸類、肼類,肼類為從己二酸二酰肼、丙酸酰肼、硫酸肼、單鹽酸肼、二鹽酸肼、碳酸肼、肼一水合物、癸二酸二酰肼、十二烷二羧酸二酰肼、間苯二甲酸二酰肼、水楊酸酰肼、3-氫-2-萘甲酸酰肼、二苯甲酮腙、苯肼、苯甲基肼單鹽酸鹽、甲基肼硫酸鹽以及異丙基肼鹽酸鹽等所構成的組中選擇的至少一種。
技術領域
本發明涉及一種化學鍍金浴。
背景技術
金具有僅次于銀、銅的高電導率,熱壓合的連接性等物理性質優異,并且耐氧化性、耐化學性等化學性質也優異。因此,在電子工業領域,用金進行的鍍金被作為印刷線路板的電路、IC封裝體的安裝部分或端子部分等的最終表面處理法而廣泛使用。近年來,伴隨著電子部件的小型化、高密度化,較適宜使用不需要導線而功能性等優異的化學鍍覆法。
作為該化學鍍覆法,例如使用化學鍍鎳浸金法(Electroless?Nickel?ImmersionGold:ENIG)。通過使用該ENIG法能夠得到依次鍍上了化學鍍鎳膜、置換鍍金膜的鍍膜。例如,還使用化學鍍鎳鈀浸金法(Electroless?Nickel?Electroless?Palladium?ImmersionGold:ENEPIG)。通過使用該ENEPIG法能夠得到依次鍍上了化學鍍鎳膜、化學鍍鈀膜以及置換鍍金膜的鍍膜。
作為在這些化學鍍覆法中使用的還原置換型化學鍍金浴,例如有人提出以下化學鍍金浴。該化學鍍金浴含有水溶性金化合物、絡合劑和還原劑,作為穩定劑添加了聚乙烯醇和/或聚乙烯吡咯烷酮。并且,通過使用如此的構成,能夠僅在金屬部分形成良好的鍍金膜,適合用于陶瓷IC或封裝體等的鍍金處理(例如,參照專利文獻1)。
專利文獻1:日本專利公報專利第2927142號
發明內容
-發明要解決的技術問題-
此處,在上述現有化學鍍金浴中,由于金難以在鍍鈀膜上析出,因此存在以下問題:在微小的端子部分等,鍍金膜的形成不充分,難以形成均勻的鍍金膜。
為了在鍍鎳膜上形成具有充分厚度(0.1μm以上的厚度)的鍍金膜,需要在對被鍍覆物上形成置換鍍金膜后,再使用上述化學鍍金浴來形成化學鍍金膜,因此存在需要兩道工序的問題。
于是,鑒于上述問題,本發明的目的在于:提供一種化學鍍金浴,其在ENIG法和ENEPIG法的任一種方法中,都能夠用一道工序來形成均勻的具有充分厚度的鍍金膜。
-用于解決技術問題的技術方案-
為達成上述目的,本發明所涉及的化學鍍金浴含有亞硫酸金鹽、硫代硫酸鹽、抗壞血酸類、肼類,其特征在于:肼類為從己二酸二酰肼、丙酸酰肼、硫酸肼、單鹽酸肼、二鹽酸肼、碳酸肼、肼一水合物、癸二酸二酰肼、十二烷二羧酸二酰肼、間苯二甲酸二酰肼、水楊酸酰肼、3-氫-2-萘甲酸酰肼、二苯甲酮腙、苯肼、苯甲基肼單鹽酸鹽、甲基肼硫酸鹽、異丙基肼鹽酸鹽、1,1-二甲基肼、2-肼基苯并噻唑、乙酰肼、2-羥乙基肼、乙氧羰基肼、甲氧羰基肼、苯肼-4-磺酸以及苯甲酰肼所構成的組中選擇的至少一種。
-發明的效果-
根據本發明,能夠提供一種化學鍍金浴,其在ENIG法和ENEPIG法的任一種方法中,都能夠用一道工序來形成均勻的具有充分厚度的鍍金膜。
具體實施方式
以下,說明本發明的化學鍍金浴。
<化學鍍金浴>
本發明的化學鍍金浴是一種含有金供給源即亞硫酸金鹽、絡合劑即硫代硫酸鹽、還原劑即抗壞血酸類以及還原劑即肼類的化學鍍金浴。
(亞硫酸金鹽)
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- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C18-00 通過液態化合物分解抑或覆層形成化合物溶液分解、且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C18-02 .熱分解法
C23C18-14 .輻射分解法,例如光分解、粒子輻射
C23C18-16 .還原法或置換法,例如無電流鍍
C23C18-54 .接觸鍍,即無電流化學鍍
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