[發明專利]一種龍門雙面光刻系統的曝光方法

有效

• 申請號: 202211207437.3
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN115524942B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 王華;陳志特;朱敏;甘泉;黃海浩
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06
• 代理公司: 深圳市華盛智薈知識產權代理事務所(普通合伙) 44604
• 代理人: 胡國英

本發明公開了一種龍門雙面光刻系統的曝光方法，包括以下步驟:組裝好PCB組件，并將PCB組件放置到移動龍門式左平臺；將龍門式左平臺移動到CCD組件的位置處，通過上下兩側的對位相機對PCB板上下兩面同時進行定位；將龍門式左平臺移動到光刻組件的位置處，通過上下兩側的光刻鏡頭對PCB板上下兩面同時進行光刻；光刻好的龍門式左平臺上的PCB組件回復到原位置，待光刻的龍門式右平臺上的PCB組件重復步驟1?3進行光刻，本發明的光刻系統，只需要在設備的一側增加一個工位即可，便可對兩個平臺進行交叉的光刻工作；以及分別設置上下兩個的光刻組件和CCD組件，從而可以對PCB板同時進行兩面光刻工作。

技術領域

本發明涉及雙面光刻技術領域，具體涉及一種龍門雙面光刻系統的曝光方法。

背景技術

中國專利CN108873621B公開了一種懸臂式雙臺面的雙面光刻機及雙面光刻方法，雙面光刻機包括安裝架；分別設于安裝架兩側的第一光刻組件和第二光刻組件；第一裝載臺和第二裝載臺；及驅動機構，驅動機構包括驅動組件，第一裝載臺和第二裝載臺分別在第一運動狀態和第二運動狀態通過光刻區。當光刻時，第一裝載臺以第一循環軌跡運動、并在第一運動狀態時通過光刻區、以對第一待光刻件進行光刻，而第二裝載臺以第二循環軌跡運動、并在第二運動狀態時通過光刻區、以對第二待光刻件進行光刻，第一裝載臺和第二裝載臺均循環運動，且第二待光刻件光刻時還能進行第一光刻成品的卸載或下一個第一待光刻件的裝載；

但是上述的現有技術中，懸臂式雙臺面的雙面光刻機存在著采用單邊支撐的工作方式，而此種在光刻時，會發生若PCB板重量過大，導致晃動傾斜的問題；以及PCB板也是采用直接放置雙面光刻，而這種也將會發生PCB板兩側發生卷邊等問題；

以及目前采用的人工壓緊或者氣缸壓緊板上下移動壓緊，人工壓緊存在費時費力的問題，而自動壓緊需要PCB要移動到指定位置停止下來，并進行壓緊工作，其影響PCB光刻節奏。

發明內容

本發明的目的就在于解決上述背景技術的問題，而提出一種龍門雙面光刻系統的曝光方法。

本發明的目的可以通過以下技術方案實現：

一種龍門雙面光刻系統的曝光方法，包括以下步驟:

步驟1：組裝好PCB組件，并將PCB組件放置到移動龍門式左平臺；

步驟2：將龍門式左平臺移動到CCD組件的位置處，通過上下兩側的對位相機對PCB板上下兩面同時進行定位；

步驟3：將龍門式左平臺移動到光刻組件的位置處，通過上下兩側的光刻鏡頭對PCB板上下兩面同時進行光刻；

步驟4：光刻好的龍門式左平臺上的PCB組件回復到原位置，待光刻的龍門式右平臺上的PCB組件重復步驟1-3進行光刻。

作為本發明的進一步方案：在步驟1中，PCB組件組裝的順序為按照上玻璃板、PCB板和下玻璃板從低往上順序排布。

作為本發明的進一步方案：在步驟2中，通過移動模組控制上CCD組件和下CCD組件沿著X軸進行移動，對應調節水平位置進行定位。

作為本發明的進一步方案：在步驟3中，通過移動模組控制上光刻組件和下光刻組件沿著X軸進行移動，對應調節水平位置進行光刻。

作為本發明的進一步方案：在步驟2中，在移動移動龍門式左平臺和龍門式右平臺過程中，對位于門式左平臺和龍門式右平臺上的上玻璃板進行壓緊工作。

作為本發明的進一步方案：壓緊工作具體過程如下：