[發明專利]一種龍門雙面光刻系統的曝光方法

有效

• 申請號: 202211207437.3
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN115524942B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 王華;陳志特;朱敏;甘泉;黃海浩
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06
• 代理公司: 深圳市華盛智薈知識產權代理事務所(普通合伙) 44604
• 代理人: 胡國英

1.一種龍門雙面光刻系統的曝光方法，其特征在于，包括以下步驟:

步驟1：組裝好PCB板組件(9)，并將PCB板組件(9)放置到龍門式上平臺(31)；

步驟2：將龍門式上平臺(31)移動到CCD組件的位置處，通過上下兩側的對位相機對PCB板(91)上下兩面同時進行定位；

步驟3：將龍門式上平臺(31)移動到光刻組件的位置處，通過上下兩側的光刻鏡頭對PCB板(91)上下兩面同時進行光刻；

步驟4：光刻好的龍門式上平臺(31)上的PCB板組件(9)回復到原位置，待光刻的龍門式下平臺(41)上的PCB板組件(9)重復步驟1-3進行光刻；

在步驟3中，通過移動模組控制上光刻組件(5)和下光刻組件(6)沿著X軸和Z軸進行移動，對應調節水平位置和高度位置，進行光刻；

在步驟2中，在移動龍門式上平臺(31)和龍門式下平臺(41)過程中，對位于龍門式上平臺(31)和龍門式下平臺(41)上的上玻璃板(92)進行壓緊工作；

壓緊工作具體過程如下：

首先運動到壓緊機構(10)位置時，壓緊板(104)與滑輪(105)接觸，隨著平臺的移動，使得滑輪(105)沿著壓緊板(104)的弧面，移動到壓緊板(104)的底面上，從而將驅動立柱(102)向下移動，使得壓緊輥(103)也將隨著向下移動，并作用在PCB板組件(9)上進行壓緊工作，隨著平臺移動使得壓緊輥(103)對PCB板組件(9)進行全面壓緊，最后隨著平臺移動，壓緊板(104)將與滑輪(105)分離，壓緊機構復位，等待對下一個PCB板組件(9)進行壓緊工作。

2.根據權利要求1所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，在步驟1中，PCB板組件(9)組裝的順序為按照上玻璃板(92)、PCB板(91)和下玻璃板(93)從低往上順序排布。

3.根據權利要求1所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，在步驟2中，通過移動模組控制上CCD組件(7)和下CCD組件(8)沿著X軸和Z軸進行移動，對應調節水平位置和高度位置，進行定位。

4.根據權利要求3所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，當上玻璃板(92)壓緊結束后送去光刻時，啟動驅動電機工作，帶動基座(111)轉動，對裝卸組件和壓緊輥(103)進行切換，使得裝卸組件處于正下方。

5.根據權利要求4所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，在步驟(4)中，當龍門式上平臺(31)上的PCB板(91)光刻結束后，PCB板組件(9)移動到初始位置，再次移動到壓緊機構(10)的位置處時，此時控制升降氣缸(117)帶動安裝板(116)向下移動，使得吸盤(113)將吸附住后，升降氣缸(117)復位到原來的高度，將上玻璃板(92)取下，同時，PCB板組件(9)回復到上料的工位上。

6.根據權利要求5所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，啟動雙軸氣缸(115)工作，通過活動桿(114)帶動伸縮桿(112)伸長，使得吸附住的上玻璃板(92)向靠近PCB板組件(9)上料工位的位置移動，即移動到壓緊機構(10)的前方。

7.根據權利要求6所述的一種龍門雙面光刻系統的曝光方法,其特征在于，當下一組PCB板組件(9)進行光刻時，移動到吸附的上玻璃板(92)時，通過升降氣缸(117)將上玻璃板(92)放置到PCB板(91)上，再接著控制使得雙軸氣缸(115)收縮，使得伸縮桿(112)收縮到基座(111)的安裝槽內，并將控制驅動電機，使得壓緊輥(103)處于底部，等待對下一組PCB板組件(9)進行壓緊工作。