[發明專利]一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請號: 202211190655.0
• 申請日: 2022-09-28
• 公開（公告）號: CN115628985A
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 張振中;孫軍;郝建勇
• 申請（專利權）人: 蘇州中瑞宏芯半導體有限公司
• 主分類號: G01N3/12
• 分類號: G01N3/12;G01N3/02;B08B1/00;B08B5/02
• 代理公司: 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246
• 代理人: 朱斌兵

1.一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，包括放置臺(1)，其特征在于：所述放置臺(1)的頂面開設有定位槽(2)，所述定位槽(2)的內部設有放置板(3)，所述放置臺(1)的正面開設有側邊槽(4)，所述放置臺(1)的底面固定連接有固定板(5)，所述固定板(5)的內側面固定連接有分配套(6)，所述分配套(6)的頂面固定連通有固定管(7)，所述固定管(7)的頂面活動套接有套管(8)，所述套管(8)的頂端與放置板(3)固定連接，所述放置臺(1)的背面固定連通有連通套(9)，所述連通套(9)的端面固定連通有通氣套(10)，所述放置臺(1)的背面固定連接有側板(11)，所述側板(11)的頂面固定安裝有氣泵(12)，所述氣泵(12)與通氣套(10)之間固定連通有氣管(13)，所述固定板(5)的內側設有壓力機構(17)和油箱(18)，所述放置臺(1)帶動頂面設有升降檢測機構(14)。

2.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述側邊槽(4)與定位槽(2)相連通，所述側邊槽(4)位于固定管(7)的上方。

3.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述放置臺(1)的正面固定連接有導出板(19)，所述導出板(19)位于側邊槽(4)的下方，所述導出板(19)的左側向下傾斜。

4.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述固定板(5)的內側面固定連接有底部板(16)，所述油箱(18)和壓力機構(17)均固定安裝在底部板(16)的頂面上，所述油箱(18)和壓力機構(17)均位于分配套(6)的下方。

5.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述壓力機構(17)包括油泵(171)、一號管(172)和二號二號管(173)，所述油泵(171)固定安裝在底部板(16)的頂面上，所述一號管(172)固定連通在油泵(171)和油箱(18)之間，所述二號管(173)固定連通在油泵(171)和分配套(6)之間。

6.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述升降檢測機構(14)包括安裝架(141)、升降桿(142)、載板(143)和壓力桿(144)，所述安裝架(141)固定安裝在放置臺(1)的頂面上，所述升降桿(142)固定連接在安裝架(141)內側面的頂面上，所述載板(143)固定連接在升降桿(142)的底面上，所述壓力桿(144)固定連接在載板(143)的底面上。

7.根據權利要求6所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述所述升降檢測機構(14)的內部固定安裝有控制箱(15)，所述控制箱(15)固定安裝在載板(143)的頂面上。

8.根據權利要求1所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置，其特征在于：所述分配套(6)的頂面開設有通孔(20)，所述通孔(20)的頂端與固定管(7)固定連通，所述套管(8)位于定位槽(2)的內部。

9.根據權利要求1-8任一項所述的一種用于碳化硅芯片的耐壓性檢測裝置的檢測方法，其特征在于：包括以下檢測步驟：

第一步：啟動壓力機構(17)，使得放置板(3)在定位槽(2)中上行，將待檢測的碳化硅芯片置于放置臺(1)頂面上的定位槽(2)中，保持碳化硅芯片位于放置板(3)的頂端上，啟動升降檢測機構(14)，并啟動控制箱(15)，使得升降檢測機構(14)中的壓力桿(144)向下壓住碳化硅芯片，進行壓力檢測；

第二步：當耐壓檢測完成后，關閉壓力機構(17)，使得固定管(7)和套管(8)中的壓力油受重力下流，進而使得放置板(3)跟隨套管(8)沿著固定管(7)下移，使得檢測后的碳化硅芯片跟隨放置板(3)下移，靜置后檢測完碳化硅芯片位于側邊槽(4)的內部，使得升降檢測機構(14)繼續下移并蓋住定位槽(2)的頂部，啟動氣泵(12)，使得氣體通過氣管(13)和連通套(9)進入到側邊槽(4)的內部，并將側邊槽(4)中的碳化硅芯片吹出；

第三步：當碳化硅芯片吹出后并落在導出板(19)的內部，且沿著向下傾斜的導出板(19)向下繼續滑出并落在外接收集機構中，當碳化硅芯片收集后，使得升降檢測機構(14)復位，并繼續通入泵入空氣，使得吹向側邊槽(4)中的空氣部分導向定位槽(2)中，且使得定位槽(2)內表面受到風力清潔，同時放置板(3)頂面灰塵吹出，完成清潔。