[發(fā)明專利]懸臂式探針臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211130801.0
• 申請(qǐng)日: 2022-09-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115541945A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 臧春和;王斌;林敏;劉如意
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光子集成（溫州）創(chuàng)新研究院
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 西安迪業(yè)欣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61278
• 代理人: 史冬梅

1.一種懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，包括懸臂組件和與所述懸臂組件連接的探針組件；

所述探針組件包括連接件、探針掛臂、多個(gè)探針夾具和設(shè)置于每個(gè)所述探針夾具上的探針；

所述連接件的一端與所述懸臂組件連接，另一端與所述探針掛臂連接；

所述探針夾具沿所述探針掛臂的延伸方向依次設(shè)置，且所述探針夾具與所述探針掛臂固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述懸臂組件包括底座、立臂、懸臂和滑塊；

所述立臂垂直設(shè)置于所述底座上；

所述懸臂的一端與所述立臂固定連接，且所述懸臂與所述立臂垂直；

所述懸臂上開(kāi)設(shè)有與所述滑塊配合的水平滑槽；

所述滑塊設(shè)置于所述水平滑槽內(nèi)，并與所述連接件轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述懸臂組件還包括第一鎖緊螺釘；

所述第一鎖緊螺釘設(shè)置于所述滑塊上，用于鎖緊所述滑塊和所述連接件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述連接件包括中軸和筒狀套臂；

所述中軸的一端伸入所述滑塊內(nèi)，并與所述滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端套設(shè)有所述筒狀套臂；

相應(yīng)的，所述第一鎖緊螺釘用于鎖緊所述滑塊和所述中軸；

所述筒狀套臂還與所述探針掛臂連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述連接件還包括第二鎖緊螺釘；

所述第二鎖緊螺釘與所述中軸和所述筒狀套臂連接，用于固定所述中軸和所述筒狀套臂的相對(duì)位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述連接件還包括第三鎖緊螺釘；

所述第三鎖緊螺釘與所述筒狀套臂和所述探針掛臂連接，用于固定所述筒狀套臂和所述探針掛臂的相對(duì)位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸臂式探針臺(tái)，其特征在于，所述探針組件還包括多個(gè)第四鎖緊螺釘；

所述第四鎖緊螺釘與所述探針夾具和所述探針掛臂連接，用于將所述探針夾具固定于所述探針掛臂上。