[發明專利]懸臂式探針臺

在審

• 申請號: 202211130801.0
• 申請日: 2022-09-16
• 公開（公告）號: CN115541945A
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 臧春和;王斌;林敏;劉如意
• 申請（專利權）人: 光子集成（溫州）創新研究院
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 西安迪業欣知識產權代理事務所(普通合伙) 61278
• 代理人: 史冬梅

本發明公開了一種懸臂式探針臺，包括懸臂組件和與懸臂組件連接的探針組件；探針組件包括連接件、探針掛臂、多個探針夾具和設置于每個探針夾具上的探針；連接件的一端與懸臂組件連接，另一端與探針掛臂連接；探針夾具沿探針掛臂的延伸方向依次設置，且探針夾具與探針掛臂固定連接。本發明的懸臂式探針臺可以用一個懸臂懸掛多根探針，使多根探針呈陣列排布，從而實現多個納米器件的同時測試，測試效率高，且由于多個探針共用一個探針座、一個懸臂，從而可最大限度地節約空間。在光電耦合的測試模式下，多個探針具有相同的入射角度可以保證光功率的一致性，使光電耦合測試數據避免了由于光功率差異引起的波動，使獲得的測試數據更具有實驗價值。

技術領域

本發明公開了一種懸臂式探針臺，屬于微納電子器件測試技術領域。

背景技術

現有技術中，測試微納電子器件多采用電學測量技術。隨著硅光子集成技術的進步，光電耦合技術得到了迅速地發展。因此也提出了基于光電耦合信號的測試方法。

基于光電耦合信息的測試方法需要利用光信號激勵待測納米器件的待測部位，該過程需要借助探針臺，以實現光纖輸出光信號的精準定位。現有技術中的探針臺只能對單根光纖進行定位，只能照射一個器件，難以實現多個納米器件的同時測試，導致測試效率低。在光電耦合的測試模式下，難于保證多根探針以相同的入射角照射，難于保證樣品表面的光功率的一致性，給電學信號的測量造成擾動或較大誤差。

發明內容

本申請的目的在于，提供一種懸臂式探針臺，以解決現有技術中的探針臺只能對單根光纖進行定位，只能照射一個器件，導致測試效率低的技術問題。在光電耦合的測試模式下，多根探針具有相同的入射角，可以保證樣品表面的光功率的一致性，避免了由于光功率的差異引起的電信號波動，使獲得的數據更具有實驗價值。

本發明提供了一種懸臂式探針臺，包括懸臂組件和與所述懸臂組件連接的探針組件；

所述探針組件包括連接件、探針掛臂、多個探針夾具和設置于每個所述探針夾具上的探針；

所述連接件的一端與所述懸臂組件連接，另一端與所述探針掛臂連接；

所述探針夾具沿所述探針掛臂的延伸方向依次設置，且所述探針夾具與所述探針掛臂固定連接。

優選地，所述懸臂組件包括底座、立臂、懸臂和滑塊；

所述立臂垂直設置于所述底座上；

所述懸臂的一端與所述立臂固定連接，且所述懸臂與所述立臂垂直；

所述懸臂上開設有與所述滑塊配合的水平滑槽；

所述滑塊設置于所述水平滑槽內，并與所述連接件轉動連接。

優選地，所述懸臂組件還包括第一鎖緊螺釘；

所述第一鎖緊螺釘設置于所述滑塊上，用于鎖緊所述滑塊和所述連接件。

優選地，所述連接件包括中軸和筒狀套臂；

所述中軸的一端伸入所述滑塊內，并與所述滑塊轉動連接，另一端套設有所述筒狀套臂；

相應的，所述第一鎖緊螺釘用于鎖緊所述滑塊和所述中軸；

所述筒狀套臂還與所述探針掛臂連接。

優選地，所述連接件還包括第二鎖緊螺釘；

所述第二鎖緊螺釘與所述中軸和所述筒狀套臂連接，用于固定所述中軸和所述筒狀套臂的相對位置。

優選地，所述連接件還包括第三鎖緊螺釘；

所述第三鎖緊螺釘與所述筒狀套臂和所述探針掛臂連接，用于固定所述筒狀套臂和所述探針掛臂的相對位置。

優選地，所述探針組件還包括多個第四鎖緊螺釘；