[發明專利]一種料盤上芯片的檢測方法、系統、存儲介質及智能終端

在審

• 申請號: 202211089516.9
• 申請日: 2022-09-07
• 公開（公告）號: CN115656214A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 高志鵬;曹憬;梁昱
• 申請（專利權）人: 環旭電子股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/01
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所(普通合伙) 31251
• 代理人: 童素珠

1.一種料盤上芯片的檢測方法，其特征在于，包括：

獲取放置有芯片的料盤的灰度圖像；

根據所述料盤的行數和列數對所述灰度圖像進行ROI區域分割；

計算每一個ROI區域的至少一條對角線上的所有像素點的灰度值方差；

根據所述灰度值方差判斷對應的ROI區域上是否放置有芯片。

2.根據權利要求1所述的一種料盤上芯片的檢測方法，其特征在于，所述計算每一個ROI區域的至少一條對角線上的所有像素點的灰度值方差具體包括：

獲取所述灰度圖像的左上角、右上角、左下角和右下角的像素坐標；

根據所述灰度圖像的左上角、右上角、左下角和右下角的像素坐標和當前ROI區域所處的行數和列數，得到當前ROI區域的一條對角線的起始點像素坐標和終點像素坐標；

計算所述起始點像素坐標和所述終點像素坐標之間的對角線上的所有像素點的灰度值方差。

3.根據權利要求2所述的一種料盤上芯片的檢測方法，其特征在于，

所述起始點像素坐標的計算公式為：

所述終點像素坐標的計算公式為：

其中，Rows為料盤的行數；Cols為料盤的列數；p₁(x₁，y₁)為灰度圖像左上角的像素坐標；p₃(x₁，y₂)為灰度圖像左下角的像素坐標；p₄(x₂，y₂)為灰度圖像右下角的像素坐標；i為當前ROI區域的行數，j為當前ROI區域的列數。

4.根據權利要求1所述的一種料盤上芯片的檢測方法，其特征在于，所述根據所述灰度值方差判斷對應的ROI區域上是否放置有芯片具體包括：

當所述灰度值方差小于第一預設閾值時，判斷對應的ROI區域上未放置有芯片；

當所述灰度值方差大于第二預設閾值時，判斷對應的ROI區域上放置有芯片，所述第二預設閾值大于所述第一預設閾值。

5.根據權利要求4所述的一種料盤上芯片的檢測方法，其特征在于，還包括：

當所述灰度值方差大于所述第一預設閾值且小于所述第二預設閾值時，判斷對應的ROI區域上放置有芯片且芯片翹起。

6.一種料盤上芯片的檢測系統，其特征在于，包括：

圖像獲取模塊，用于獲取放置有芯片的料盤的灰度圖像；

區域分割模塊，用于根據所述料盤的行數和列數對所述灰度圖像進行ROI區域分割；

計算模塊，用于計算每一個ROI區域的至少一條對角線上的所有像素點的灰度值方差；

判斷模塊，用于根據所述灰度值方差判斷對應的ROI區域上是否放置有芯片。

7.根據權利要求6所述的一種料盤上芯片的檢測系統，其特征在于，所述計算模塊包括：

像素坐標獲取單元，用于獲取所述灰度圖像的左上角、右上角、左下角和右下角的像素坐標；

計算單元，用于根據所述灰度圖像的左上角、右上角、左下角和右下角的像素坐標和當前ROI區域所處的行數和列數，得到當前ROI區域的一條對角線的起始點像素坐標和終點像素坐標；

所述計算單元，還用于計算所述起始點像素坐標和所述終點像素坐標之間的對角線上的所有像素點的灰度值方差。

8.根據權利要求6所述的一種料盤上芯片的檢測系統，其特征在于，

所述判斷模塊，還用于當所述灰度值方差小于第一預設閾值時，判斷對應的ROI區域上未放置有芯片；

當所述灰度值方差大于第二預設閾值時，判斷對應的ROI區域上放置有芯片，所述第二預設閾值大于所述第一預設閾值；

當所述灰度值方差大于所述第一預設閾值且小于所述第二預設閾值時，判斷對應的ROI區域上放置有芯片且芯片翹起。