[發明專利]消像散方法、消像散裝置、電子設備和存儲介質

有效

• 申請號: 202211089264.X
• 申請日: 2022-09-07
• 公開（公告）號: CN115190247B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 雷靜;劉永磊
• 申請（專利權）人: 國儀量子（合肥）技術有限公司
• 主分類號: H04N5/232
• 分類號: H04N5/232;H04N5/14;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 于騰昊

本申請公開了一種消像散方法、消像散裝置、電子設備和存儲介質。消像散方法包括獲取當前圖像；計算當前圖像的離焦程度；基于離焦程度和電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在成像鏡頭步進移動時計算確定成像鏡頭的準焦距離；在成像鏡頭處于準焦距離時，獲取準焦圖像；計算準焦圖像的清晰度；根據準焦圖像的清晰度，調整像散值以使像散值達到最小閾值。如此，通過獲取當前圖像計算離焦程度，根據離焦程度調節電子顯微鏡的成像鏡頭至準焦距離以獲得準焦圖像，然后基于準焦圖像的清晰度來調整像散值，以實現對電子顯微鏡的圖像的消像散工作。這樣，可以不局限當前圖像的聚焦狀態，消像散方法的應用范圍較廣，消像散的效率也較高。

技術領域

本申請涉及電子顯微鏡圖像處理技術領域，尤其涉及一種消像散方法、消像散裝置、電子設備和存儲介質。

背景技術

隨著電子顯微鏡的廣泛應用，掃描電子顯微鏡的運行狀態也隨著各種模式的頻繁切換而經常變化，尤其是像散的變化，使得消像散的工作成為操作電鏡時的必要工作。然而，現有的消像散方法應用范圍較窄，對電鏡圖像有聚焦狀態要求以及對放大倍數有嚴格限定等，或者需要采集大量圖片進行擬合曲線，效率低下。

發明內容

本申請實施方式提供一種消像散方法、消像散裝置、電子設備和存儲介質。

本申請實施方式的消像散方法用于電子顯微鏡，所述消像散方法包括：

所述消像散方法包括：

獲取當前圖像；

計算所述當前圖像的離焦程度；

基于所述離焦程度和所述電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在所述成像鏡頭步進移動時計算確定所述成像鏡頭的準焦距離；

在所述成像鏡頭處于所述準焦距離時，獲取準焦圖像；

計算所述準焦圖像的清晰度；

根據所述準焦圖像的清晰度，調整像散值以使所述像散值達到最小閾值。

如此，通過獲取當前圖像計算離焦程度，根據離焦程度調節電子顯微鏡的成像鏡頭至準焦距離以獲得準焦圖像，然后基于準焦圖像的清晰度來調整像散值，以實現對電子顯微鏡的圖像的消像散工作。這樣，可以不局限當前圖像的聚焦狀態，消像散方法的應用范圍較廣，消像散的效率也較高。

在某些實施方式中，所述計算所述當前圖像的離焦程度，包括：

獲取所述電子顯微鏡采集的常規樣品圖像；

將所述常規樣品圖像進行傅里葉變換后，篩選所述常規樣品圖像后形成擬合橢圓；

基于篩選后的所述常規樣品圖像的像素總點數、所述擬合橢圓的長軸像素點數和所述擬合橢圓的短軸像素點數確定所述當前圖像的離焦程度。

在某些實施方式中，所述當前圖像的離焦程度采用以下條件式評價：

；

其中，Fwd為評價函數，n為篩選后的所述常規樣品圖像的像素總點數，a為所述擬合橢圓的長軸像素點數，b為所述擬合橢圓的短軸像素點數，Fwd越小，離焦程度越大。

在某些實施方式中，所述基于所述離焦程度和所述電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在所述成像鏡頭步進移動時計算確定所述成像鏡頭的準焦距離，包括：

根據所述當前圖像的放大倍數和所述當前工作距離，計算成像景深；

根據所述成像景深計算所述成像鏡頭移動的初始步進值；

以所述當前圖像的所述離焦程度作為判斷基準，采用迭代爬山法搜索所述成像鏡頭移動的步進值達到第一停止閾值時，將所述成像鏡頭的上一次的工作距離作為準焦距離。