[發明專利]消像散方法、消像散裝置、電子設備和存儲介質

有效

• 申請號: 202211089264.X
• 申請日: 2022-09-07
• 公開（公告）號: CN115190247B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 雷靜;劉永磊
• 申請（專利權）人: 國儀量子（合肥）技術有限公司
• 主分類號: H04N5/232
• 分類號: H04N5/232;H04N5/14;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 于騰昊

1.一種消像散方法，用于電子顯微鏡，其特征在于，所述消像散方法包括：

獲取當前圖像；

計算所述當前圖像的離焦程度；

基于所述離焦程度和所述電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在所述成像鏡頭步進移動時計算確定所述成像鏡頭的準焦距離；

在所述成像鏡頭處于所述準焦距離時，獲取準焦圖像；

計算所述準焦圖像的清晰度；

根據所述準焦圖像的清晰度，調整像散值以使所述像散值達到最小閾值；

所述計算所述當前圖像的離焦程度，包括：

獲取所述電子顯微鏡采集的常規樣品圖像；

將所述常規樣品圖像進行傅里葉變換后，篩選所述常規樣品圖像后形成擬合橢圓；

基于篩選后的所述常規樣品圖像的像素總點數、所述擬合橢圓的長軸像素點數和所述擬合橢圓的短軸像素點數確定所述當前圖像的離焦程度；

所述根據所述準焦圖像的清晰度，調整像散值以使所述像散值達到最小閾值，包括：

獲取像散的初始步進值；

以所述準焦圖像的所述清晰度作為判斷基準，采用迭代爬山法搜索所述像散的步進值達到第二停止閾值時，完成所述像散值的調整。

2.根據權利要求1所述的消像散方法，其特征在于，所述當前圖像的離焦程度采用以下條件式評價：

；

其中，Fwd為評價函數，n為篩選后的所述常規樣品圖像的像素總點數，a為所述擬合橢圓的長軸像素點數，b為所述擬合橢圓的短軸像素點數，Fwd越小，離焦程度越大。

3.根據權利要求1所述的消像散方法，其特征在于，所述基于所述離焦程度和所述電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在所述成像鏡頭步進移動時計算確定所述成像鏡頭的準焦距離，包括：

根據所述當前圖像的放大倍數和所述當前工作距離，計算成像景深；

根據所述成像景深計算所述成像鏡頭移動的初始步進值；

以所述當前圖像的所述離焦程度作為判斷基準，采用迭代爬山法搜索所述成像鏡頭移動的步進值達到第一停止閾值時，將所述成像鏡頭的上一次的工作距離作為準焦距離。

4.根據權利要求1所述的消像散方法，其特征在于，所述計算所述準焦圖像的清晰度，包括：

將所述準焦圖像劃分為N*N個圖像子塊，N為大于1的自然數；

計算每個圖像子塊的方差σ_i；

計算所有圖像子塊的方差σ_i的均值M和方差σ；

根據所有圖像子塊的方差σ_i的均值M和方差σ確定所述準焦圖像的清晰度。

5.根據權利要求4所述的消像散方法，其特征在于，所述準焦圖像的清晰度采用以下條件式計算：

；

其中，F為所述準焦圖像的清晰度值，M為所有圖像子塊的方差的均值，σ為所有圖像子塊的方差σ_i的方差。

6.一種消像散裝置，其特征在于，所述消像散裝置包括：

第一獲取模塊，用于獲取當前圖像；

第一計算模塊，用于計算所述當前圖像的離焦程度；及用于獲取電子顯微鏡采集的常規樣品圖像；及用于將所述常規樣品圖像進行傅里葉變換后，篩選所述常規樣品圖像后形成擬合橢圓；以及用于基于篩選后的所述常規樣品圖像的像素總點數、所述擬合橢圓的長軸像素點數和所述擬合橢圓的短軸像素點數確定所述當前圖像的離焦程度；

第二計算模塊，用于基于所述離焦程度和電子顯微鏡的成像鏡頭的當前工作距離，在所述成像鏡頭步進移動時計算確定所述成像鏡頭的準焦距離；

第二獲取模塊，用于在所述成像鏡頭處于所述準焦距離時，獲取準焦圖像；

第三計算模塊，用于計算所述準焦圖像的清晰度；

調整模塊，用于根據所述準焦圖像的清晰度，調整像散值以使所述像散值達到最小閾值；及用于獲取像散的初始步進值；以及用于以所述準焦圖像的所述清晰度作為判斷基準，采用迭代爬山法搜索所述像散的步進值達到第二停止閾值時，完成所述像散值的調整。