[發明專利]一種陰極管焊接層的噴涂方法

在審

• 申請號: 202211085502.X
• 申請日: 2022-09-06
• 公開（公告）號: CN115433909A
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 王紅霞;潘才貴;唐海宸
• 申請（專利權）人: 遨天科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/58;C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 華楓

本發明提出了一種陰極管焊接層的噴涂方法，采用真空多股離子鍍膜工藝，依托工裝定位在陰極管上均勻噴涂一層鎳靶材，最后在真空環境高溫燒結，加工出來的陰極管焊接層附著力強，生產效率大大提高，適合批量生產，且工藝穩定，各批次工藝一致性好，適合衛星發動機陰極生產的需求。

技術領域

本發明涉及電子器件技術領域，尤其涉及衛星發動機陰極生產中一種陰極管焊接層的噴涂方法。

背景技術

衛星發動機陰極中的陰極管材料一般為鉭，由于鉭金屬材料的特殊物理性質，在工藝制備中不能采用電鍍方式，現有方法一般采用手工涂覆鎳粉后烘烤的方式增加其可焊接性能。

上述工藝存在加工可靠性差(涂層易脫落、不均勻)、生產效率低下、只適用于實驗室階段的科研項目等缺點。隨著衛星發動機市場需求的日益增長，研制一種可靠高效的在陰極管上噴涂焊接層的工藝勢在必行。

發明內容

本發明要解決的技術問題是如何提高陰極管焊接層的噴涂效率和質量，本發明提出一種陰極管焊接層的噴涂方法。

根據本發明實施例的陰極管焊接層的噴涂方法，包括：

S100，將多個待噴涂陰極管裝配在具有多工位的噴涂工裝上，并將所述噴涂工裝置于鍍膜設備中，待噴涂陰極管的待噴涂區域的中心與所述鍍膜設備的靶材噴射窗口齊平；

S200，將所述鍍膜設備的腔內真空度抽到第一預設真空度，并將腔內溫度升溫到預設溫度；

S300，所述靶材噴射窗口開始多股離子噴射靶材，所述噴涂工裝帶動多個所述待噴涂陰極管旋轉；

S400，停止噴涂后保溫第一預設時長后停止加熱，保持腔內真空度第二預設時長后停止抽真空，完成焊接層的噴涂；

S500，將完成焊接層噴涂后的陰極管裝入燒結工裝，并將所述燒結工裝置于中頻真空燒結爐中；

S600，將所述中頻真空燒結爐的腔內真空度抽到第二預設真空度后進行中頻加熱；

S700，保溫第三預設時長后，降低加熱功率至基本值后關閉加熱，等到預設溫度值后停止抽真空，放氣到大氣壓后取出陰極管，完成焊接層的高溫燒結。

根據本發明的一些實施例，步驟S100中，將所述待噴涂陰極管以所述噴涂工裝的轉軸軸心為圓心的圓周上均勻間隔排布。

在本發明的一些實施例中，在將多個所述待噴涂陰極管裝配在所述噴涂工裝的工位前，所述方法還包括：

根據所述待噴涂陰極管待噴涂區域制備工位上的支撐桿的定位臺階的高度。

根據本發明的一些實施例，步驟S200中，第一預設真空度的范圍為10^-6Pa，預設溫度范圍為280℃±20℃。

在本發明的一些實施例中，步驟S300中，通過控制所述噴涂工裝的轉速及靶材噴射窗口噴涂時間來控制焊接層達到預設厚度。

根據本發明的一些實施例，所述預設厚度范圍為3-10μm。

在本發明的一些實施例中，步驟S400中的所述第一預設時長范圍為30-60min，所述第二預設時長不小于4小時。

根據本發明的一些實施例，步驟S600中，所述第二預設真空度范圍為10^-5Pa。

在本發明的一些實施例中，步驟S600中，進行中頻加熱時，加熱功率階梯遞增，遞增電流為2～5A，將腔內溫度提升到1420℃～1450℃。

根據本發明的一些實施例，步驟S700中，所述第三預設時長為30min，所述預設溫度值為100℃。

本發明具有如下有益效果：