[發(fā)明專利]一種陰極管焊接層的噴涂方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202211085502.X
• 申請日: 2022-09-06
• 公開（公告）號: CN115433909A
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王紅霞;潘才貴;唐海宸
• 申請（專利權(quán)）人: 遨天科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/58;C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 工業(yè)和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 華楓

1.一種陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，包括：

S100，將多個待噴涂陰極管裝配在具有多工位的噴涂工裝上，并將所述噴涂工裝置于鍍膜設(shè)備中，待噴涂陰極管的待噴涂區(qū)域的中心與所述鍍膜設(shè)備的靶材噴射窗口齊平；

S200，將所述鍍膜設(shè)備的腔內(nèi)真空度抽到第一預(yù)設(shè)真空度，并將腔內(nèi)溫度升溫到預(yù)設(shè)溫度；

S300，所述靶材噴射窗口開始多股離子噴射靶材，所述噴涂工裝帶動多個所述待噴涂陰極管旋轉(zhuǎn)；

S400，停止噴涂后保溫第一預(yù)設(shè)時長后停止加熱，保持腔內(nèi)真空度第二預(yù)設(shè)時長后停止抽真空，完成焊接層的噴涂；

S500，將完成焊接層噴涂后的陰極管裝入燒結(jié)工裝，并將所述燒結(jié)工裝置于中頻真空燒結(jié)爐中；

S600，將所述中頻真空燒結(jié)爐的腔內(nèi)真空度抽到第二預(yù)設(shè)真空度后進(jìn)行中頻加熱；

S700，保溫第三預(yù)設(shè)時長后，降低加熱功率至基本值后關(guān)閉加熱，等到預(yù)設(shè)溫度值后停止抽真空，放氣到大氣壓后取出陰極管，完成焊接層的高溫?zé)Y(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S100中，將所述待噴涂陰極管以所述噴涂工裝的轉(zhuǎn)軸軸心為圓心的圓周上均勻間隔排布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，在將多個所述待噴涂陰極管裝配在所述噴涂工裝的工位前，所述方法還包括：

根據(jù)所述待噴涂陰極管待噴涂區(qū)域制備工位上的支撐桿的定位臺階的高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S200中，第一預(yù)設(shè)真空度的范圍為10^-6Pa，預(yù)設(shè)溫度范圍為280℃±20℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S300中，通過控制所述噴涂工裝的轉(zhuǎn)速及靶材噴射窗口噴涂時間來控制焊接層達(dá)到預(yù)設(shè)厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)厚度范圍為3-10μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S400中的所述第一預(yù)設(shè)時長范圍為30～60min，所述第二預(yù)設(shè)時長不小于4小時。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S600中，所述第二預(yù)設(shè)真空度范圍為10^-5Pa。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S600中，進(jìn)行中頻加熱時，加熱功率階梯遞增，遞增電流為2～5A，將腔內(nèi)溫度提升到1420℃～1450℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極管焊接層的噴涂方法，其特征在于，步驟S700中，所述第三預(yù)設(shè)時長為30min，所述預(yù)設(shè)溫度值為100℃。