[發明專利]一種用于檢測和傳輸樣品的裝置和方法

在審

• 申請號: 202211082643.6
• 申請日: 2022-09-06
• 公開（公告）號: CN115629519A
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 熊金磊;溫興達;戴依熳;劉紅星
• 申請（專利權）人: 睿勵科學儀器（上海）有限公司
• 主分類號: G03F1/84
• 分類號: G03F1/84;H01L21/66;B65G47/74
• 代理公司: 北京啟坤知識產權代理有限公司 11655
• 代理人: 李琛

1.一種用于檢測和傳輸樣品的裝置，其特征在于，所述裝置包括檢測腔室組件、過渡腔室組件和放料腔室組件；

其中，所述檢測腔室組件包括真空腔部分、光學部分和運動平臺；所述真空腔部分包括真空腔室殼體、抽真空部分、氣源部分、第一傳輸門閥和第一壓力傳感器；所述光學部分包括對準裝置、反射鏡、反射鏡調整架、第一檢測傳感器和第二檢測傳感器；所述運動平臺部分包括薄膜卡盤和運動電機組件；

其中，所述過渡腔室組件包括腔室氣路部分和傳輸部分；所述腔室氣路部分包括過渡腔室殼體、抽氣部分、填氣部分、第二傳輸門閥和第二壓力傳感器；

其中，所述放料腔室組件包括放料腔室殼體和樣品放置支架。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述真空腔室殼體、過渡腔室殼體、和放料腔室殼體包括至少一個顆粒吸附裝置，所述顆粒吸附裝置用于吸附氣體中的顆粒。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述氣源部分和抽氣部分中的至少一個包括一個或多個過濾裝置，所述一個或多個過濾裝置用于對氣體進行過濾。

4.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，根據一個實施例，獲得第一壓力傳感器和第二壓力傳感器的壓力信息的方式包括：

通過第一壓力傳感器和第二壓力傳感器包含的表盤來獲得壓力信息；

通過外線纜獲得所述第一壓力傳感器和第二壓力傳感器的壓力信息。

5.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述對準裝置包括一個或多個視覺或光學對準裝置。

6.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述傳輸部分為機械手。

7.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述放料腔組件包括用于打開或關閉腔室蓋板的開合鎖，該開合鎖為自動或手動。

8.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述樣品放置支架包括用于檢測樣品的傳感器，用于檢測是否放置樣品以及樣品是否放置到位。

9.一種使用如權利要求1至8中任一項所述的裝置進行樣品檢測的方法，所述方法包括：

需要檢測樣品時，將樣品放置于放料腔的樣品放置支架；

通過傳輸部分將樣品從樣品放置支架取下，并傳輸至過渡腔內；

將過渡腔室進行抽真空；

通過運動電機組件來帶動薄膜卡盤移動至上片位置；

通過傳輸部分將樣品傳輸至檢測腔內并放置于薄膜卡盤，并將傳輸部分退回至過渡腔內；

對樣品進行對準和檢測。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，所述方法包括：

需要取回檢測腔中已完成檢測的樣品時，通過運動電機組件來帶動薄膜卡盤移動至下片位置；

通過傳輸部分將樣品傳輸至過渡腔內；

對過渡腔進行填氣；

通過傳輸部分將樣品傳輸至放料腔的樣品放置支架，并將傳輸部分退回至過渡腔內；

取出樣品放置支架上的樣品。