[發(fā)明專利]涂布裝置、液滴噴出檢查方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211077702.0
• 申請(qǐng)日: 2022-09-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115780171A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山崎貴弘;黒澤雅彥;岡部由孝;林俊宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 賀財(cái)俊;劉芳

抑制被噴出至檢查用介質(zhì)的液滴的干燥，而適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行液滴檢查的方法。實(shí)施方式的涂布裝置利用從噴墨式的涂布頭噴出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布裝置包括：涂布頭，對(duì)檢查用介質(zhì)噴出涂布液；液滴拍攝部，對(duì)從涂布頭噴出的、檢查用介質(zhì)上的涂布液的液滴進(jìn)行拍攝；以及控制裝置，基于由液滴拍攝部獲得的拍攝圖像來(lái)求出液滴的面積，并基于所述液滴的面積來(lái)進(jìn)行對(duì)噴嘴施加的噴出電壓的控制，液滴拍攝部包括：罩，覆蓋由從涂布頭的各噴嘴噴出至檢查用介質(zhì)上的涂布液所形成的液滴噴出區(qū)域；以及攝像機(jī)，設(shè)在罩的上方，能夠經(jīng)由罩來(lái)拍攝檢查用介質(zhì)上的液滴，罩與攝像機(jī)設(shè)置為，能夠作為一體而升降且能夠與檢查用介質(zhì)相對(duì)地移動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及一種涂布裝置、液滴噴出檢查方法。

背景技術(shù)

以往，作為使用功能液來(lái)對(duì)基板涂布功能性薄膜的裝置，已知有使功能液成為液滴而噴出至基板的噴墨方式的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置例如在制造有機(jī)電致發(fā)光(Electroluminescence，EL)裝置、彩色濾光片、液晶顯示裝置、等離子體顯示器、電子放出裝置等的電光學(xué)裝置等時(shí)得到廣泛使用。

液滴噴出裝置中，有時(shí)噴出液滴的噴墨方式的涂布頭的每個(gè)噴嘴噴出的液滴量會(huì)存在偏差，或者存在完全不噴出液滴的噴嘴。因此，在從涂布頭對(duì)基板噴出功能液的液滴之前，檢查液滴噴出的良否。具體而言，從涂布頭對(duì)檢查用的介質(zhì)噴出液滴，對(duì)其進(jìn)行拍攝，并對(duì)拍攝圖像進(jìn)行圖像處理，由此來(lái)測(cè)量液滴的面積，以檢查涂布頭的噴出噴嘴的噴出良否?；谶@樣得到的噴出噴嘴的檢查數(shù)據(jù)來(lái)控制涂布頭的噴嘴的噴出量，抑制了液滴量的偏差后，進(jìn)行向作為最終制品的基板的功能液的噴出。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)2010-131562號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問(wèn)題]

但是，在噴嘴的噴出檢查中，由于攝像機(jī)的數(shù)量有限，因此在從涂布頭噴出檢查用的液滴后，攝像機(jī)無(wú)法拍攝所有的液滴，而是將應(yīng)拍攝的區(qū)域劃分為多個(gè)區(qū)域，使攝像機(jī)對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行掃描而依次拍攝。在像這樣依次拍攝液滴的情況下，在對(duì)其中一個(gè)區(qū)域進(jìn)行拍攝的期間，在另一個(gè)區(qū)域中，液滴的干燥正在推進(jìn)。當(dāng)干燥推進(jìn)時(shí)，液滴的面積將變小。即，越往后拍攝的區(qū)域，著落之后的液滴面積與進(jìn)行拍攝的時(shí)間點(diǎn)的液滴面積之差便越大。

本發(fā)明的實(shí)施方式是有鑒于如上所述的情況而完成，目的在于抑制被噴出至檢查用介質(zhì)的液滴的干燥，而適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行液滴檢查。

[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]

實(shí)施方式的涂布裝置利用從包括多個(gè)噴嘴的噴墨式的涂布頭噴出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布裝置的特征在于包括：所述涂布頭，對(duì)檢查用介質(zhì)噴出所述涂布液；液滴拍攝部，對(duì)從所述涂布頭噴出的、所述檢查用介質(zhì)上的所述涂布液的液滴進(jìn)行拍攝；以及控制裝置，基于由所述液滴拍攝部獲得的拍攝圖像來(lái)求出液滴的面積，并基于所述液滴的面積來(lái)進(jìn)行對(duì)所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴拍攝部包括：罩，覆蓋由從所述涂布頭的各噴嘴噴出至所述檢查用介質(zhì)上的所述涂布液所形成的液滴噴出區(qū)域；以及攝像機(jī)，設(shè)在所述罩的上方，能夠經(jīng)由所述罩來(lái)拍攝所述檢查用介質(zhì)上的所述液滴，所述罩與所述攝像機(jī)設(shè)置為，能夠作為一體而升降且能夠與所述檢查用介質(zhì)相對(duì)地移動(dòng)。

實(shí)施方式的液滴噴出檢查方法的特征在于，其是對(duì)從包括多個(gè)噴嘴的噴墨式的涂布頭噴出的液滴的噴出良否進(jìn)行檢查的方法，所述液滴噴出檢查方法包括下述工序：從所述多個(gè)噴嘴對(duì)檢查用介質(zhì)噴出涂布液；拍攝所述檢查用介質(zhì)上的所述涂布液的液滴；以及基于所拍攝的所述液滴的圖像來(lái)求出所述液滴的面積，并基于所述液滴的面積來(lái)進(jìn)行對(duì)所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴的拍攝是利用罩來(lái)覆蓋由所述檢查用介質(zhì)上的液滴所形成的液滴噴出區(qū)域，且一邊使跟所述罩經(jīng)一體化的攝像機(jī)與所述檢查用介質(zhì)相對(duì)移動(dòng)，一邊經(jīng)由所述罩來(lái)拍攝所述檢查用介質(zhì)上的所述液滴。

[發(fā)明的效果]