[發(fā)明專利]一種激光陀螺電極及制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211068625.2 | 申請日: | 2022-09-02 |
| 公開(公告)號: | CN115479596A | 公開(公告)日: | 2022-12-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王立斌 | 申請(專利權(quán))人: | 天津集智航宇科技有限公司 |
| 主分類號: | G01C19/66 | 分類號: | G01C19/66;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司: | 中國和平利用軍工技術(shù)協(xié)會專利中心 11215 | 代理人: | 劉光德 |
| 地址: | 300451 天津市濱海新區(qū)塘沽*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 激光 陀螺 電極 制造 方法 | ||
本發(fā)明提出一種低應(yīng)力長壽命激光陀螺電極及制造方法,涉及激光陀螺制造技術(shù)領(lǐng)域,該電極包括陰極和陽極,電極基體為圓形帽狀,電極基體的材料為單一耐高溫材料;電極基體下端有向外伸出的折邊,折邊用作密封面;并在電極的內(nèi)表面和密封面鍍覆純凈金屬材料鍍層,鍍層厚度為預(yù)定厚度。電極基體的材料包括:微晶玻璃、石英玻璃或者低膨脹超因瓦合金。采用磁控離子濺射鍍膜機對電極鍍膜;純凈金屬材料鍍層為高純鋁或高純鈹,鍍層厚度:5~10um。密封面與激光陀螺的接合面上粘接高純銦密封環(huán)。本發(fā)明電極膨脹系數(shù)很低,熱應(yīng)力小,能夠確保儀表高低溫下性能的高度穩(wěn)定和數(shù)十年的氣密壽命。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于激光陀螺制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種激光陀螺電極及制造方法。
背景技術(shù)
激光陀螺是一種高精度、高可靠、長壽命的慣性儀表,廣泛用于運載火箭、衛(wèi)星飛船、導(dǎo)彈武器、航空飛機、潛艇艦船等領(lǐng)域。主要部件為零膨脹微晶玻璃制成的諧振腔,整塊微晶玻璃內(nèi)部加工有高精度的細長孔。
玻璃腔體與毛細管交匯的四個面粘接反射鏡,形成穩(wěn)定的閉合回路。反射鏡的熱膨脹系數(shù)和玻璃腔體非常接近(通常是一種材質(zhì)),粘接采用的是基于分子吸引力的光膠技術(shù)。
玻璃腔體的側(cè)面粘接有金屬陰極和陽極。陰極材料通常為高純鋁、高純鈹,陽極材料為不銹鋼、無氧銅、可伐合金或超因瓦合金。由于金屬和幾乎零膨脹的微晶玻璃熱膨脹系數(shù)差異很大,這種粘接往往是用柔軟的銦絲來實現(xiàn)密封連接。
陰極通常是氣密的薄弱點,以及儀表壽命的關(guān)鍵點,存在如下問題:
一是鋁或鈹?shù)炔馁|(zhì)的陰極膨脹系數(shù)通常達到10-5,與微晶玻璃10-8量級的膨脹系數(shù)差異太大,熱應(yīng)力引起銦密封層的疲勞退化,導(dǎo)致氣密強度下降,同時應(yīng)力引起光路的形變,降低了陀螺性能。
二是采用低膨脹的材質(zhì)不耐濺射,工作壽命太短,或者這類材質(zhì)不導(dǎo)電,無法工作。
現(xiàn)有的專利和文獻沒有一種膨脹系數(shù)低又耐濺射的電極,來適應(yīng)高精度長壽命激光陀螺的發(fā)展需求。
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的第一方面提出了一種激光陀螺電極,所述電極包括陰極和陽極,所述電極基體為圓形帽狀,所述電極基體的材料為單一耐高溫材料;所述電極基體下端有向外伸出的折邊,所述折邊用作電極與激光陀螺之間的密封面;
所述電極基體的內(nèi)表面被拋光到規(guī)定光潔度,并在所述電極的內(nèi)表面和所述密封面上鍍覆預(yù)定厚度的高純金屬材料鍍層。
如本發(fā)明的第一方面提出的所述電極,所述電極基體的材料采用以下材料中的一種:微晶玻璃、石英玻璃或者低膨脹超因瓦合金。
如本發(fā)明的第一方面提出的所述電極,采用磁控離子濺射鍍膜機對所述電極鍍膜;所述高純金屬材料為高純鋁或高純鈹,金屬材料的純度大于99.99%,所述高純金屬材料鍍層的預(yù)定厚度為:5~10um。
如本發(fā)明的第一方面提出的所述電極,在所述密封面與激光陀螺的接合面上粘接高純銦密封環(huán),銦的純度大于99.99%。
如本發(fā)明的第一方面提出的所述電極,采用超因瓦合金做電極時,采用在電極基體內(nèi)嵌入一層高純鋁殼體代替所述純凈金屬材料鍍層,鋁的純度大于99.99%;
所述電極基體和所述高純鋁殼體之間采用真空焊料焊接。
本發(fā)明的第二方面提出一種激光陀螺電極的制作方法,所述方法包括以下步驟:
所述方法包括以下步驟:
步驟1,將電極材料加工為圓形帽狀電極基體,所述電極基體內(nèi)表面作拋光處理到規(guī)定光潔度;
步驟2,將完成步驟1的所述電極基體進行清洗和酸腐蝕,以去除電極基體表面的雜質(zhì)層;
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G01C 測量距離、水準(zhǔn)或者方位;勘測;導(dǎo)航;陀螺儀;攝影測量學(xué)或視頻測量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀;使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置;不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置,例如基于科里奧利力的振動角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測量儀
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng),即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測量儀





