[發(fā)明專利]一種固晶機(jī)固晶夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211066345.8
• 申請日: 2022-09-01
• 公開（公告）號: CN115642119A
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊勇;溫?zé)?/a>
• 申請（專利權(quán)）人: 撫州致晶自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京眾允專利代理有限公司 11803
• 代理人: 孔輝

本發(fā)明涉及固晶機(jī)領(lǐng)域，且公開了一種固晶機(jī)固晶夾具，有效的解決了目前通過兩側(cè)夾板對晶圓盤側(cè)壁進(jìn)行壓緊夾持的效果不佳，易造成晶圓盤偏轉(zhuǎn)的問題，包括工作平臺，所述工作平臺的頂端設(shè)有晶圓盤，工作平臺的頂端安裝有第一夾持組件，第一夾持組件包括對稱開設(shè)于工作平臺頂端的滑槽，工作平臺的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有螺桿，本發(fā)明，通過開啟電機(jī)，使得電機(jī)的輸出軸帶動螺桿轉(zhuǎn)動，帶動兩個滑塊相互靠近，從而推動兩個第一夾板朝著晶圓盤一側(cè)移動，當(dāng)?shù)谝粖A板與晶圓盤的外壁接觸后，此時安裝塊繼續(xù)朝著第一夾板移動，使得第一彈簧壓縮，從而在第一彈簧的彈力作用下，使得兩個第一夾板將晶圓盤夾緊，方便晶圓盤的固定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于固晶機(jī)領(lǐng)域，具體為一種固晶機(jī)固晶夾具。

背景技術(shù)

固晶機(jī)中用于晶圓存放的設(shè)備是晶圓盤，晶圓盤一般設(shè)置為圓形盤狀，晶圓盤上密密麻麻放置有晶圓，一般晶圓設(shè)置為方形，在需要晶圓的時候，通過負(fù)壓吸嘴將需要的晶圓進(jìn)行轉(zhuǎn)移，而在晶圓轉(zhuǎn)移過程中，需要保證晶圓盤的固定，從而方便吸附位置發(fā)生偏移，而夾持設(shè)備一般是設(shè)置在晶圓盤兩側(cè)的夾板，在兩側(cè)夾板朝著晶圓盤移動后，將晶圓盤夾緊，從而對晶圓盤進(jìn)行固定，但是仍舊存在以下缺陷：

通過兩側(cè)夾板對晶圓盤側(cè)壁進(jìn)行壓緊夾持，夾持效果不佳，易造成晶圓盤偏轉(zhuǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供一種固晶機(jī)固晶夾具，有效的解決了目前通過兩側(cè)夾板對晶圓盤側(cè)壁進(jìn)行壓緊夾持的效果不佳，易造成晶圓盤偏轉(zhuǎn)的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種固晶機(jī)固晶夾具，包括工作平臺，所述工作平臺的頂端設(shè)有晶圓盤，工作平臺的頂端安裝有第一夾持組件；

第一夾持組件包括對稱開設(shè)于工作平臺頂端的滑槽，工作平臺的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有螺桿，螺桿位于滑槽的內(nèi)部，螺桿的一端與電機(jī)的輸出軸固定連接，電機(jī)與工作平臺固定連接，螺桿位于滑槽內(nèi)部的部分外側(cè)開設(shè)有螺紋槽，且兩個螺紋槽開設(shè)方向相反，滑槽的內(nèi)部滑動連接有滑塊，滑塊與螺桿螺紋連接，滑塊的頂端安裝有安裝塊，兩個安裝塊相互靠近的一側(cè)設(shè)有第一夾板，第一夾板靠近安裝塊的一側(cè)對稱安裝有插桿，插桿活動連接于第一連通槽的內(nèi)部，第一連通槽對稱開設(shè)于安裝塊的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述第一夾板遠(yuǎn)離安裝塊的一側(cè)與晶圓盤的外壁相適配，安裝塊靠近第一夾板的一側(cè)對稱安裝有第一彈簧，第一彈簧的一端與第一夾板固定連接，第一夾板外側(cè)安裝有負(fù)壓吸附組件，插桿的一端安裝有限位板，限位板位于安裝塊遠(yuǎn)離第一夾板的一側(cè)。

優(yōu)選的，所述負(fù)壓吸附組件包括開設(shè)于第一夾板內(nèi)部的內(nèi)槽，內(nèi)槽遠(yuǎn)離安裝塊的一側(cè)等距開設(shè)有負(fù)壓孔，第一夾板的另一側(cè)安裝有連通管，連通管活動連接于第二連通槽的內(nèi)部，第二連通槽開設(shè)于安裝塊的內(nèi)部，連通管的一端外側(cè)安裝有活塞管，活塞管位于安裝塊遠(yuǎn)離第一夾板的一側(cè)。

優(yōu)選的，所述工作平臺的頂端安裝有兩個負(fù)壓風(fēng)機(jī)，負(fù)壓風(fēng)機(jī)的一側(cè)安裝有第一管道，兩個第一管道的內(nèi)部分別滑動與兩個活塞管滑動連接，且第一管道與連通管內(nèi)部相連通。

優(yōu)選的，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)的另一側(cè)安裝有第二管道，第二管道的一端內(nèi)部安裝有輔助夾持單元，輔助夾持單元對稱設(shè)置于晶圓盤的正面和背面。

優(yōu)選的，所述輔助夾持單元包括活動連接于第二管道內(nèi)部的活塞塊，活塞塊靠近晶圓盤的一側(cè)安裝有連接桿，連接桿的一端安裝有第二夾板，第二夾板靠近晶圓盤的一側(cè)與晶圓盤相適配，第二管道的兩側(cè)對稱安裝有固定塊，固定塊靠近第二夾板的一側(cè)安裝有第二彈簧，第二彈簧的一端與第二夾板固定連接，第二夾板的內(nèi)部安裝有壓緊組件。

優(yōu)選的，所述壓緊組件包括對稱開設(shè)于第二夾板兩側(cè)的活動槽，活動槽靠近晶圓盤的一側(cè)開設(shè)有連接槽，連接槽靠近晶圓盤的一側(cè)開設(shè)有安裝槽，安裝槽貫穿至第二夾板的正面。