[發(fā)明專利]一種固晶機(jī)固晶夾具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211066345.8
• 申請(qǐng)日: 2022-09-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115642119A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊勇;溫?zé)?/a>
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 撫州致晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京眾允專利代理有限公司 11803
• 代理人: 孔輝

1.一種固晶機(jī)固晶夾具，包括工作平臺(tái)(1)，其特征在于：所述工作平臺(tái)(1)的頂端設(shè)有晶圓盤(2)，工作平臺(tái)(1)的頂端安裝有第一夾持組件(3)；

第一夾持組件(3)包括對(duì)稱開(kāi)設(shè)于工作平臺(tái)(1)頂端的滑槽(301)，工作平臺(tái)(1)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿(302)，螺桿(302)位于滑槽(301)的內(nèi)部，螺桿(302)的一端與電機(jī)(303)的輸出軸固定連接，電機(jī)(303)與工作平臺(tái)(1)固定連接，螺桿(302)位于滑槽(301)內(nèi)部的部分外側(cè)開(kāi)設(shè)有螺紋槽，且兩個(gè)螺紋槽開(kāi)設(shè)方向相反，滑槽(301)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有滑塊(304)，滑塊(304)與螺桿(302)螺紋連接，滑塊(304)的頂端安裝有安裝塊(305)，兩個(gè)安裝塊(305)相互靠近的一側(cè)設(shè)有第一夾板(308)，第一夾板(308)靠近安裝塊(305)的一側(cè)對(duì)稱安裝有插桿(307)，插桿(307)活動(dòng)連接于第一連通槽(306)的內(nèi)部，第一連通槽(306)對(duì)稱開(kāi)設(shè)于安裝塊(305)的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述第一夾板(308)遠(yuǎn)離安裝塊(305)的一側(cè)與晶圓盤(2)的外壁相適配，安裝塊(305)靠近第一夾板(308)的一側(cè)對(duì)稱安裝有第一彈簧(309)，第一彈簧(309)的一端與第一夾板(308)固定連接，第一夾板(308)外側(cè)安裝有負(fù)壓吸附組件(4)，插桿(307)的一端安裝有限位板(310)，限位板(310)位于安裝塊(305)遠(yuǎn)離第一夾板(308)的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述負(fù)壓吸附組件(4)包括開(kāi)設(shè)于第一夾板(308)內(nèi)部的內(nèi)槽(404)，內(nèi)槽(404)遠(yuǎn)離安裝塊(305)的一側(cè)等距開(kāi)設(shè)有負(fù)壓孔(405)，第一夾板(308)的另一側(cè)安裝有連通管(402)，連通管(402)活動(dòng)連接于第二連通槽(401)的內(nèi)部，第二連通槽(401)開(kāi)設(shè)于安裝塊(305)的內(nèi)部，連通管(402)的一端外側(cè)安裝有活塞管(403)，活塞管(403)位于安裝塊(305)遠(yuǎn)離第一夾板(308)的一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述工作平臺(tái)(1)的頂端安裝有兩個(gè)負(fù)壓風(fēng)機(jī)(406)，負(fù)壓風(fēng)機(jī)(406)的一側(cè)安裝有第一管道(407)，兩個(gè)第一管道(407)的內(nèi)部分別滑動(dòng)與兩個(gè)活塞管(403)滑動(dòng)連接，且第一管道(407)與連通管(402)內(nèi)部相連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)(406)的另一側(cè)安裝有第二管道(408)，第二管道(408)的一端內(nèi)部安裝有輔助夾持單元(409)，輔助夾持單元(409)對(duì)稱設(shè)置于晶圓盤(2)的正面和背面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述輔助夾持單元(409)包括活動(dòng)連接于第二管道(408)內(nèi)部的活塞塊(4091)，活塞塊(4091)靠近晶圓盤(2)的一側(cè)安裝有連接桿(4092)，連接桿(4092)的一端安裝有第二夾板(4093)，第二夾板(4093)靠近晶圓盤(2)的一側(cè)與晶圓盤(2)相適配，第二管道(408)的兩側(cè)對(duì)稱安裝有固定塊(4094)，固定塊(4094)靠近第二夾板(4093)的一側(cè)安裝有第二彈簧(4095)，第二彈簧(4095)的一端與第二夾板(4093)固定連接，第二夾板(4093)的內(nèi)部安裝有壓緊組件(5)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種固晶機(jī)固晶夾具，其特征在于：所述壓緊組件(5)包括對(duì)稱開(kāi)設(shè)于第二夾板(4093)兩側(cè)的活動(dòng)槽(501)，活動(dòng)槽(501)靠近晶圓盤(2)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有連接槽(502)，連接槽(502)靠近晶圓盤(2)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有安裝槽(503)，安裝槽(503)貫穿至第二夾板(4093)的正面。