[發(fā)明專利]一種定位裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211057393.0
• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN115409895A
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋晨;張虎;王進(jìn)文;鄧俊濤;歐昌東
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢精立電子技術(shù)有限公司;武漢精測電子集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: G06T7/73
• 分類號: G06T7/73;G06T7/00;G06T1/00;G06V10/141
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 何偉

本發(fā)明涉及晶圓定位技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種定位裝置及方法。該定位裝置包括：旋轉(zhuǎn)載臺、圖像定位組件、反射發(fā)光件和檢測定位件。其中，旋轉(zhuǎn)載臺用于放置待測物，并可調(diào)整待測物的方位，且旋轉(zhuǎn)載臺的外緣位于待測物外緣的內(nèi)側(cè)；圖像定位組件用于從待測物放置后遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)載臺的一側(cè)獲取待測物的圖像并進(jìn)行定位檢測；反射發(fā)光件設(shè)在待測物伸出旋轉(zhuǎn)載臺部分的另一側(cè)，用于為待測物提供照明，并反射待測物至設(shè)定方位；檢測定位件設(shè)于反射發(fā)光件的反射光路，用于通過反射發(fā)光件獲取待測物的圖像并進(jìn)行定位檢測。本方案能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中的定位裝置適配性低，當(dāng)背面不透光的待測物背面朝向定位裝置時(shí)，難以定位的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓定位技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種定位裝置及方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體加工過程涉及多種工藝，每種工藝需要用到不同的設(shè)備，很多工藝都需要預(yù)先獲得晶圓準(zhǔn)確的位置狀態(tài)，現(xiàn)有技術(shù)中，作為半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部位之一的晶圓對準(zhǔn)裝置。

現(xiàn)有技術(shù)中通常采用激光定位或者圖像定位配合轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)的方法來獲得晶圓的位置信息，實(shí)現(xiàn)晶圓對準(zhǔn)。

但是，現(xiàn)有技術(shù)中激光定位系統(tǒng)結(jié)構(gòu)雖然簡單，但是成本高。精度低，定位成功率較低，已經(jīng)逐漸不能滿足實(shí)際工業(yè)需求。采用圖像定位的方式，適應(yīng)適配晶圓類型少，例如有背面不透光的待測物，在背面朝向定位裝置時(shí)，定位裝置就無法對待測物進(jìn)行定位。若增設(shè)定位裝置，也存在沒有安裝空間的問題。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種定位裝置及方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中的定位裝置適配性低，當(dāng)背面不透光的待測物背面朝向定位裝置時(shí)，難以定位的問題。

為達(dá)到以上目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是：

一方面，本發(fā)明提供一種定位裝置，包括：

旋轉(zhuǎn)載臺，其用于放置待測物，并可調(diào)整待測物的方位，且所述旋轉(zhuǎn)載臺的外緣位于所述待測物外緣的內(nèi)側(cè)；

圖像定位組件，其用于從所述待測物放置后遠(yuǎn)離所述旋轉(zhuǎn)載臺的一側(cè)獲取所述待測物的圖像，并根據(jù)所述待測物對應(yīng)在所述圖像中標(biāo)記點(diǎn)的坐標(biāo)，確定所述待測物的方位；

反射發(fā)光件，其設(shè)在所述待測物伸出所述旋轉(zhuǎn)載臺部分的另一側(cè)，用于為所述待測物提供照明，并反射所述待測物至設(shè)定方位；

檢測定位件，其設(shè)于所述反射發(fā)光件的反射光路，用于通過所述反射發(fā)光件獲取所述待測物的圖像，根據(jù)所述待測物對應(yīng)在所述圖像中標(biāo)記點(diǎn)的坐標(biāo)，確定所述待測物的方位。

在一些可選的方案中，所述圖像定位組件包括第一圖像定位機(jī)構(gòu)和第二圖像定位機(jī)構(gòu)中的至少一種，所述第一圖像定位機(jī)構(gòu)位于所述待測物的中部，用于獲取所述待測物的全局圖像并進(jìn)行定位檢測，所述第二圖像定位機(jī)構(gòu)位于所述待測物伸出所述旋轉(zhuǎn)載臺的部分，用于獲取所述待測物的局部圖像并進(jìn)行定位檢測。

在一些可選的方案中，所述第一圖像定位機(jī)構(gòu)包括：

第一光源，其設(shè)于所述待測物放置后遠(yuǎn)離所述旋轉(zhuǎn)載臺的一側(cè)，用于為所述待測物提供照明；

第一圖像定位件，其設(shè)于所述待測物放置后遠(yuǎn)離所述旋轉(zhuǎn)載臺的一側(cè)，用于獲取所述待測物的全局圖像并進(jìn)行定位檢測。

在一些可選的方案中，所述第一光源包括兩個分別位于所述第一圖像定位件獲取圖像光路兩側(cè)的線光源。

在一些可選的方案中，所述第一圖像定位機(jī)構(gòu)還包括開孔光源，其套設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)載臺外側(cè)。

在一些可選的方案中，所述第二圖像定位機(jī)構(gòu)包括：

第二光源，其設(shè)于所述待測物放置后遠(yuǎn)離所述旋轉(zhuǎn)載臺的一側(cè)，用于為所述待測物提供照明；