[發(fā)明專利]塑封模具清掃機構及塑封設備

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• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN115447051A
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發(fā)明（設計）人: 蔣榮盛;蔣立新
• 申請（專利權）人: 深圳市牛耳商用機器人有限公司;無錫市牛耳商用機器人有限公司
• 主分類號: B29C43/32
• 分類號: B29C43/32;B29C33/72;H01L23/28
• 代理公司: 華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李援開

本發(fā)明涉及一種塑封模具清掃機構及塑封設備，塑封模具清掃機構包括視覺單元、清掃單元及控制單元，其中，視覺單元設于塑封模具的上方，視覺單元用于檢測塑封模具表面的清潔狀態(tài)；清掃單元滑動連接于塑封壓機上，清掃單元用于吹掃塑封模具，清掃單元能夠伸出至塑封模具的上方，或者，清掃單元能夠縮回至塑封模具的旁側；控制單元與視覺單元和清掃單元均通信連接，控制單元響應于視覺單元的檢測結果控制清掃單元運行或者停止。通過視覺單元、清掃單元以及控制單元的協(xié)同作用，對塑封模具自動清掃，不僅可通過視覺單元反饋清潔狀態(tài)，進而減小清潔不到位導致卡料的風險，還可取代人工清掃，從而提高模具清掃工序的自動化程度。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體塑封設備技術領域，特別是涉及一種塑封模具清掃機構及塑封設備。

背景技術

在目前的半導體塑封制程設備中，塑封完成后，需要對壓機模具的表面進行清掃，現(xiàn)有技術中主要采用人工手持氣槍吹氣的方式進行清掃。由于模具的型腔及澆道等通常是凹陷的，人工清掃時容易清掃不到位。而且采用人工清掃，在清掃完畢后，設備上沒有信號反饋，設備無法識別是否清掃到位，只能肉眼觀察。若清掃不到位，在對半導體工件進行塑封時，會出現(xiàn)卡料的情況，進而會影響產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對現(xiàn)有技術中半導體塑封壓機模面采用人工清掃無法識別是否清掃到位的問題，提供一種塑封模具清掃機構及塑封設備。

一種塑封模具清掃機構，用于所述塑封壓機中以清掃所述塑封模具的表面，所述塑封模具清掃機構包括：

視覺單元，設于所述塑封模具的上方，所述視覺單元用于檢測所述塑封模具表面的清潔狀態(tài)；

清掃單元，滑動連接于所述塑封壓機上，所述清掃單元用于吹掃所述塑封模具，所述清掃單元能夠伸出至所述塑封模具的上方，或者，所述清掃單元能夠縮回至所述塑封模具的旁側；

控制單元，與所述視覺單元和所述清掃單元均通信連接，所述控制單元響應于所述視覺單元的檢測結果控制所述清掃單元運行或者停止。

在一些實施例中，所述視覺單元包括：

成像器件，固定于所述塑封壓機上，并位于所述塑封模具的上方，所述成像器件的鏡頭的視野能夠覆蓋所述塑封模具的整個表面，所述成像器件與所述控制單元通信連接，所述成像器件獲取到的所述檢測結果可輸送給所述控制單元；

光源，連接于所述塑封壓機上或者設于所述成像器件內(nèi)，所述光源能夠產(chǎn)生可見光并照射于所述塑封模具上。

在一些實施例中，所述成像器件在所述塑封模具的上表面所在的平面上的投影位于所述塑封模具的旁側，所述鏡頭的軸線與所述塑封模具的上表面之間形成夾角。

在一些實施例中，所述清掃單元包括：

底座，滑動連接于塑封壓機上，并位于所述塑封模具的旁側；

移動組件，固定于所述底座上；

滑動連接于所述移動組件上，所述吹掃噴嘴能夠相對所述塑封模具沿著第一方向和第二方向移動，其中，所述第一方向和所述第二方向相交，所述吹掃噴嘴用于與外部氣源連接以噴射出具有壓力的氣體，所述吹掃噴嘴的出氣口朝向所述塑封模具的表面設置。

在一些實施例中，所述移動組件包括：

兩個滑道，相互間隔，并設于所述底座上，兩個所述滑道均沿著所述第一方向延伸；

滑動件，設于兩個所述滑道之間，所述滑動件的兩端沿著所述第二方向延伸，并與所述滑道滑動連接，所述滑動件的兩端可沿著所述滑道的延伸方向來回移動；

所述吹掃噴嘴滑動連接于所述滑動件，所述吹掃噴嘴可沿著所述滑動件的延伸方向來回移動。