[發明專利]生成方法、推定方法、生成裝置以及推定裝置

在審

• 申請號: 202211050621.1
• 申請日: 2022-08-30
• 公開（公告）號: CN115755777A
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 原伸夫;吉田寬子;中橋昭久
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G05B19/4155
• 分類號: G05B19/4155
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 齊秀鳳

本公開提供生成方法、推定方法、生成裝置以及推定裝置。按照包括表示實驗器件的加工的第1種條件的第1種信息和表示第2種條件的第2種信息的計劃信息進行實驗器件的加工，獲取第3種信息和第4種信息，獲取擴展第2種信息和擴展第3種信息的均勻度在閾值以上的擴展計劃信息并按其進行實驗器件的加工來獲取擴展第3種信息和擴展第4種信息，導出作為擴展第1種信息、擴展第2種信息、擴展第3種信息的關系的擴展第1關系，導出作為擴展第1種信息、擴展第2種信息、擴展第4種信息的關系的擴展第2關系，生成接收實際的器件的加工時測量出的第2種信息和第3種信息并使用擴展第1關系及擴展第2關系來對第4種信息進行推定的模型，輸出模型。

技術領域

本公開涉及生成方法、推定方法、生成裝置以及推定裝置。

背景技術

以往，利用了與器件的加工有關的模型。對于這樣的模型，報告了根據說明變量(輸入變量)的參數來推定目標變量(輸出變量)的參數的許多事例。在能夠構成基于實際的物理現象的物理模型的情況下，通過使用該物理模型來推定目標變量的參數，能夠進行高精度的推定，此外還能夠抑制建模所需要的測量工時。

另一方面，在難以構成物理模型的情況下，已知例如利用蓄積的許多測定數據將輸入輸出關系假定為多項式模型，并通過擬合來對其進行推定的方法。還提出了將這2個方法進行了組合的推定方法(參照專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第4539619號公報

發明內容

本公開的一方式涉及的模型生成方法由處理器使用存儲器來執行，包括：按照包括表示實驗器件的加工的第1種條件的第1種信息以及表示所述實驗器件的所述加工的第2種條件的第2種信息的計劃信息，進行所述實驗器件的所述加工，由此獲取表示按照所述計劃信息的所述實驗器件的所述加工的第3種結果的第3種信息、以及表示按照所述計劃信息的所述實驗器件的所述加工的第4種結果的第4種信息；獲取包括擴展第1種信息和擴展第2種信息的擴展計劃信息，所述擴展第1種信息包括向所述第1種信息新追加的第1種信息，所述擴展第2種信息包括向所述第2種信息新追加的第2種信息，在所述擴展計劃信息中，所述擴展第2種信息和作為按照所述擴展計劃信息進行的所述實驗器件的所述加工的所述第3種結果而獲得的擴展第3種信息的均勻度在閾值以上；通過按照所述擴展計劃信息進行所述實驗器件的所述加工，獲取表示按照所述擴展計劃信息的所述實驗器件的所述加工的所述第3種結果的所述擴展第3種信息、以及表示按照所述擴展計劃信息的所述實驗器件的所述加工的所述第4種結果的擴展第4種信息；導出作為所述擴展第1種信息、所述擴展第2種信息以及所述擴展第3種信息的關系的擴展第1關系；導出作為所述擴展第1種信息、所述擴展第2種信息以及所述擴展第4種信息的關系的擴展第2關系；生成模型，該模型接收實際的器件的所述加工時測量出的所述第2種信息以及所述實際的器件的所述加工時測量出的所述第3種信息，使用所述擴展第1關系以及所述擴展第2關系，對表示所述實際的器件的所述加工的所述第4種結果的所述第4種信息進行推定；以及輸出所述模型。