[發明專利]生成方法、推定方法、生成裝置以及推定裝置

在審

• 申請號: 202211050621.1
• 申請日: 2022-08-30
• 公開（公告）號: CN115755777A
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 原伸夫;吉田寬子;中橋昭久
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G05B19/4155
• 分類號: G05B19/4155
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 齊秀鳳

1.一種生成方法，由處理器使用存儲器來執行，包括：

按照包括表示實驗器件的加工的第1種條件的第1種信息以及表示所述實驗器件的所述加工的第2種條件的第2種信息的計劃信息，進行所述實驗器件的所述加工，由此獲取表示按照所述計劃信息的所述實驗器件的所述加工的第3種結果的第3種信息、以及表示按照所述計劃信息的所述實驗器件的所述加工的第4種結果的第4種信息；

獲取包括擴展第1種信息和擴展第2種信息的擴展計劃信息，所述擴展第1種信息包括向所述第1種信息新追加的第1種信息，所述擴展第2種信息包括向所述第2種信息新追加的第2種信息，在所述擴展計劃信息中，所述擴展第2種信息和作為按照所述擴展計劃信息進行的所述實驗器件的所述加工的所述第3種結果而獲得的擴展第3種信息的均勻度在閾值以上；

通過按照所述擴展計劃信息進行所述實驗器件的所述加工，獲取表示按照所述擴展計劃信息的所述實驗器件的所述加工的所述第3種結果的所述擴展第3種信息、以及表示按照所述擴展計劃信息的所述實驗器件的所述加工的所述第4種結果的擴展第4種信息；

導出作為所述擴展第1種信息、所述擴展第2種信息以及所述擴展第3種信息的關系的擴展第1關系；

導出作為所述擴展第1種信息、所述擴展第2種信息以及所述擴展第4種信息的關系的擴展第2關系；

生成模型，該模型接收實際的器件的所述加工時測量出的所述第2種信息以及所述實際的器件的所述加工時測量出的所述第3種信息，使用所述擴展第1關系以及所述擴展第2關系，對表示所述實際的器件的所述加工的所述第4種結果的所述第4種信息進行推定；以及

輸出所述模型。

2.根據權利要求1所述的生成方法，其中，

還導出作為所述第1種信息、所述第2種信息以及所述第3種信息的關系的第1關系，

所述擴展計劃信息的獲取包括：

通過向所述第2種信息追加所述新的第2種信息來獲取所述擴展第2種信息；

通過向所述第3種信息追加新的第3種信息來獲取所述擴展第3種信息；

接收所述擴展第2種信息以及所述擴展第3種信息，使用所述第1關系來獲取所述擴展第1種信息；以及

獲取包括所述擴展第1種信息和所述擴展第2種信息的所述擴展計劃信息。

3.根據權利要求1或2所述的生成方法，其中，

所述擴展計劃信息的獲取包括：

判定所述擴展第2種信息和所述擴展第3種信息的均勻度是否在閾值以上；以及

在判定為所述擴展第2種信息和所述擴展第3種信息的均勻度在所述閾值以上的情況下，獲取所述擴展計劃信息。

4.根據權利要求1～3的任一項所述的生成方法，其中，

所述擴展計劃信息的獲取包括：

通過向所述第3種信息追加新的第3種信息，從而追加屬于所述第1種信息中的從最小值到最大值的范圍的所述新的第1種信息，由此獲取所述擴展計劃信息。

5.根據權利要求1～4的任一項所述的生成方法，其中，

所述擴展計劃信息的獲取包括：

使用針對評價用計劃信息的平均預測方差來計算所述擴展第2種信息和所述擴展第3種信息的均勻度，所述評價用計劃信息作為因子而包括所述第2種信息以及所述第3種信息；以及

使用計算出的所述均勻度來獲取所述擴展計劃信息。

6.根據權利要求2所述的生成方法，其中，

所述擴展第2種信息的獲取以及所述擴展第3種信息的獲取包括：

通過針對評價用計劃信息的D最優計劃法來獲取所述擴展第2種信息以及所述擴展第3種信息，所述評價用計劃信息作為因子而包括所述第2種信息以及所述第3種信息。

7.根據權利要求1～6的任一項所述的生成方法，其中，

所述擴展第1關系由擴展第1式來表現，所述擴展第1式接收所述擴展第1種信息以及所述擴展第2種信息并輸出所述擴展第3種信息，

所述模型包括根據所述擴展第1式導出的擴展第3式，所述擴展第3式接收所述實際的器件的所述加工時測量出的所述第2種信息以及所述實際的器件的所述加工時測量出的所述第3種信息，并輸出所述第1種信息。