[發明專利]襯底浮起裝置在審
| 申請號： | 202211048054.6 | 申請日： | 2022-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN115991392A | 公開（公告）日： | 2023-04-21 |
| 發明（設計）人： | 樸庸碩;樸鎬胤;趙才衍 | 申請（專利權）人： | 顯示器生產服務株式會社 |
| 主分類號： | B65G54/00 | 分類號： | B65G54/00;B01D29/03 |
| 代理公司： | 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 江亞男;方挺 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 浮起 裝置 | ||
1.一種襯底浮起裝置，其特征在于，包括：
主體，其內部空間填充通過下部流入口流入的流體；
浮起板，配置在所述內部空間的上部，具有使填充到所述內部空間的流體通過并利用噴射流體的噴射壓力使放置在上側的襯底浮起的多個噴射孔；以及
第一流動引導部件，配置在所述內部空間中，使通過所述下部流入口流入到所述內部空間的流體分散，并使從所述多個噴射孔噴射的流體的噴射壓力均勻。
2.根據權利要求1所述的襯底浮起裝置，其特征在于，所述第一流動引導部件包括：
第一部件，在所述內部空間沿第一方向延伸，并且沿與所述第一方向相交的第二方向分開配置，使朝向所述浮起板移動的流體向所述第二方向分散；
第二部件，在所述內部空間沿所述第二方向延伸，并且沿與所述第二方向相交的所述第一方向分開配置，使朝向所述浮起板移動的流體向所述第一方向分散；以及
多個第一流路，將朝向所述下部流入口的第一下部面和朝向所述浮起板的第一上部面連接，并具有小于所述噴射孔的直徑的尺寸。
3.根據權利要求2所述的襯底浮起裝置，其特征在于，
還包括第二流動引導部件，所述第二流動引導部件配置在所述第一流動引導部件的上側，
所述第一流動引導部件和所述第二流動引導部件俯瞰時彼此錯開地配置，并且所述第一流路的至少一部分被所述第二流動引導部件遮擋。
4.根據權利要求2所述的襯底浮起裝置，其特征在于，
所述下部流入口配置在所述內部空間的底部中心區域內，
所述第一流動引導部件具有朝向所述下部流入口的中心區域和與所述中心區域分開的邊緣區域，
所述第一流路的截面積從所述中心區域朝所述邊緣區域逐漸變大。
5.根據權利要求1所述的襯底浮起裝置，其特征在于，還包括：
除電單元，具有配置在所述下部流入口上的放電用電極和向所述放電用電極供給電源的電源供給部，誘導由通過所述下部流入口的流體的電離引起的電暈放電，消除與從所述噴射孔噴射的流體接觸的襯底的靜電。
6.根據權利要求1所述的襯底浮起裝置，其特征在于，
所述第一流動引導部件由非導電性材料制成，
所述襯底浮起裝置還包括：
第二流動引導部件，配置在所述第一流動引導部件的下側，并由導電性材料制成；
第三流動引導部件，配置在所述第一流動引導部件的上側，并由導電性材料制成；以及
除電單元，具有電源供給部，向所述第二流動引導部件和所述第三流動引導部件供給不同極性的電源，誘導由流入到所述內部空間的流體的電離引起的電暈放電，消除與從所述噴射孔噴射的流體接觸的襯底的靜電。
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