[發明專利]全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統

有效

• 申請號: 202211039008.X
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN115337803B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 周文平;吳光炘;廖耀東;傅贊榮;張前臻;朱軍偉
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技股份有限公司
• 主分類號: B01F23/10
• 分類號: B01F23/10;B01F35/21;B01F35/71;B01F35/83;B01F35/213
• 代理公司: 廈門原創聯合知識產權代理有限公司 35293
• 代理人: 林艷

本發明提供一種全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，包括：氟氣供給裝置以及配氣裝置；氟氣供給裝置包括：氟氣供給單元；第一惰性氣體供給單元；分別與氟氣供給單元以及第一惰性氣體供給單元聯通的第一緩沖罐；與第一緩沖罐聯通的第二緩沖罐；設置于第一緩沖罐和第二緩沖罐之間的控制器；與第二緩沖罐聯通的氟氣輸出口以及吸收槽；配氣裝置包括：第二惰性氣體供給單元；設置在第二惰性氣體供給單元管路上的第一流量計；與氟氣輸出口聯通的氟氣輸入口；設置在氟氣輸入口管路上的第二流量計；分別與第二惰性氣體供給單元以及氟氣輸入口聯通的混氣罐；以及與混氣罐聯通的混合氣輸出口。

技術領域

本發明涉及氟氮混合配氣領域，尤其涉及一種全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統。

背景技術

目前，氟氮混合氣是精細化工領域的重要原料，其廣泛應用于電子、激光技術、醫藥塑料等領域，可用于玻璃浸蝕、金屬材料、管道的表面鈍化處理等。氟氮混合氣在制備時，通常是采用靜態配氣的方法，將高純的氟氣與氮氣進行混合，從而得到預設濃度的成品氟氮混合氣。然而，現有技術中，由于氟氣制備的危險性，并沒有在氟氣制備過程與氮氣進行動態混合的相關技術。

發明內容

本發明提供了一種全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，可以有效解決上述問題。

本發明是這樣實現的：

本發明提供一種全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，包括：氟氣供給裝置以及配氣裝置；其中，

所述氟氣供給裝置包括：

氟氣供給單元；

第一惰性氣體供給單元；

分別與所述氟氣供給單元以及所述第一惰性氣體供給單元聯通的第一緩沖罐；

與所述第一緩沖罐聯通的第二緩沖罐；

設置于所述第一緩沖罐和所述第二緩沖罐之間的控制器；

與所述第二緩沖罐聯通的氟氣輸出口以及吸收槽；

所述配氣裝置包括：

第二惰性氣體供給單元；

設置在所述第二惰性氣體供給單元管路上的第一流量計；

與所述氟氣輸出口聯通的氟氣輸入口；

設置在所述氟氣輸入口管路上的第二流量計；

分別與所述第二惰性氣體供給單元以及所述氟氣輸入口聯通的混氣罐；以及

與所述混氣罐聯通的混合氣輸出口。

本發明的有益效果是：本發明提供的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，通過氟氣供給裝置以及配氣裝置的相互配合，從而可以提供穩定的氟氣和惰性氣體氣源，使后續的動態混合配氣更加精準，從而適于工業化生產。另外，本發明通過第一惰性氣體供給單元以及第二惰性氣體供給單元的設置，從而可以防止所述混氣罐中殘留空氣及水汽，降低混合配氣時產生的危險。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施方式的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本發明的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1是本發明實施例提供的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統中氟氣供給裝置的結構示意圖。

圖2是本發明實施例提供的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統中所述氟氣供給裝置的控制方法的流程圖。

圖3是本發明實施例提供的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統中配氣裝置的結構示意圖。