[發明專利]全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統

有效

• 申請號: 202211039008.X
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN115337803B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 周文平;吳光炘;廖耀東;傅贊榮;張前臻;朱軍偉
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技股份有限公司
• 主分類號: B01F23/10
• 分類號: B01F23/10;B01F35/21;B01F35/71;B01F35/83;B01F35/213
• 代理公司: 廈門原創聯合知識產權代理有限公司 35293
• 代理人: 林艷

1.一種全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，包括：氟氣供給裝置以及配氣裝置；其中，

所述氟氣供給裝置包括：

氟氣供給單元；

第一惰性氣體供給單元；

分別與所述氟氣供給單元以及所述第一惰性氣體供給單元聯通的第一緩沖罐；

與所述第一緩沖罐聯通的第二緩沖罐；

設置于所述第一緩沖罐和所述第二緩沖罐之間的控制器；

與所述第二緩沖罐聯通的氟氣輸出口以及吸收槽；

所述配氣裝置包括：

第二惰性氣體供給單元；

設置在所述第二惰性氣體供給單元管路上的第一流量計；

與所述氟氣輸出口聯通的氟氣輸入口；

設置在所述氟氣輸入口管路上的第二流量計；

分別與所述第二惰性氣體供給單元以及所述氟氣輸入口聯通的混氣罐；以及

與所述混氣罐聯通的混合氣輸出口；

其中，所述混氣罐包括：

臥式罐體；

設置于所述臥式罐體一側且與所述第二惰性氣體供給單元聯通的惰性氣體進氣管；

設置于所述臥式罐體頂部且與所述氟氣輸入口聯通的氟氣進氣管；

橫向設置于所述臥式罐體內的轉軸以及帶動所述轉軸轉動的電機，所述轉軸的一側開口，從而使所述惰性氣體進氣管伸入到所述轉軸內部；

設置于所述轉軸上的旋轉葉片。

2.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，所述第二惰性氣體供給單元用于提供待混合的惰性氣體，所述惰性氣體包括是氮氣、氦、氖、氬、氪、氙、氡中的至少一種。

3.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，所述第二緩沖罐的壓力平穩保持在大于等于0.2MPa，且小于等于0.8MPa的范圍內。

4.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，定義所述氟氣供給單元的壓力為P₁，所述第一緩沖罐的壓力P₂，其中，P₁P₂≧0.8*P₁。

5.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，進一步包括用于給所述控制器進行冷卻的冷卻單元。

6.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，所述氟氣供給單元還進一步包括設置于管路中的壓力傳感器以及第一在線分析檢測單元。

7.如權利要求1所述的全自動、安全型氟/惰性氣體動態混合系統，其特征在于，所述配氣裝置還進一步包括第四在線分析檢測單元，用于分析混合氣體是否滿足要求。