[發明專利]一種圓頂安裝治具

在審

• 申請號: 202211029438.3
• 申請日: 2022-08-25
• 公開（公告）號: CN115383699A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 陳浩淼
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B25H1/06
• 分類號: B25H1/06;B25H1/10
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李迪

本發明公開一種圓頂安裝治具，用于將圓頂組件安裝于腔室頂蓋內側，圓頂組件具有多個連接孔，用于配合連接件鎖定圓頂組件和腔室頂蓋，且多個連接孔圍繞圓頂組件的軸線環形分布，包括固定板、驅動機構和支架；固定板通過驅動機構安裝于支架；驅動機構用于驅動固定板帶動圓頂組件沿預設方向朝向腔室頂蓋動作；固定板具有安裝面，用于暫固圓頂組件，固定板上設置有與圓頂組件的多個連接孔對應的通孔結構；圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第一連接孔組，通孔結構包括與第一連接孔組對應的第一通孔組，第一通孔組用于露出第一連接孔組，以當圓頂組件與腔室頂蓋接觸時鎖緊圓頂組件與腔室頂蓋。該治具可實現簡單快速可靠且單人安裝圓頂組件。

技術領域

本發明涉及安裝治具技術領域，特別涉及一種圓頂安裝治具。

背景技術

目前機臺圓頂由兩人安裝，且安裝過程中容易造成圓頂磕碰甚至破損、或者因圓頂滑動造成機臺上氣體注入的密封O形環脫落，從而導致密封失效，發生故障警報，延長維修時間，增加維修成本。

發明內容

根據一些實施例，本申請提供一種圓頂安裝治具，用于將圓頂組件安裝于腔室頂蓋內側，所述圓頂組件具有用于配合連接件鎖定所述圓頂組件和所述腔室頂蓋的多個連接孔，且所述多個連接孔圍繞所述圓頂組件的軸線環形分布，包括：固定板、驅動機構和支架；

所述固定板通過所述驅動機構安裝于所述支架；所述驅動機構用于驅動所述固定板帶動所述圓頂組件沿預設方向朝向所述腔室頂蓋動作；

所述固定板具有安裝面，用于暫固所述圓頂組件，所述固定板上設置有與所述圓頂組件的多個連接孔對應的通孔結構；所述圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第一連接孔組，所述通孔結構包括與所述第一連接孔組對應的第一通孔組，所述第一通孔組用于露出所述第一連接孔組，以當所述圓頂組件與所述腔室頂蓋接觸時鎖緊所述圓頂組件與所述腔室頂蓋。

本申請的實施例至少具有以下優點：

采用該圓頂安裝治具安裝圓頂組件時，先將圓頂組件暫固于固定板的安裝面，再通過移動支架將圓頂組件與腔室頂蓋對準，控制驅動機構沿預設方向驅動固定板帶動圓頂組件朝向腔室頂蓋運動，直至圓頂組件與腔室頂蓋接觸，再將連接件如螺絲穿過第一通孔組和第一連接孔組將圓頂組件和腔室頂蓋鎖緊。其中預設方向與腔室頂蓋所在平面的法線平行。該圓頂安裝治具可實現簡單快速可靠且單人安裝圓頂組件，避免目前安裝方式下由于圓頂組件過重導致安裝時圓頂組件滑動引起的氣體注入的密封O形環滑落風險，降低人員安裝不適及人力需求，提高安裝能力及可靠性，進而減少了機臺保養復機時間提高產出。

在一些實施例中，所述第一通孔組包括與所述第一連接孔組中的連接孔一一對應的第一通孔。

在一些實施例中，所述圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第二連接孔組；

所述圓頂安裝治具還包括安裝于所述固定板的定位機構，所述定位機構凸出于所述安裝面并與所述第二連接孔組配合定位。

在一些實施例中，所述通孔結構還包括與所述第二連接孔組對應的第二通孔組；所述第二通孔組包括與所述第二連接孔組中的連接孔一一對應的第二通孔，所述定位機構包括與所述第二通孔一一對應的定位桿，所述定位桿與所述第二通孔連接并探出所述安裝面。

在一些實施例中，所述圓頂安裝治具還包括第一導向機構，所述第一導向機構安裝于所述腔室頂蓋，并與所述固定板滑動配合以為所述圓頂組件朝向所述腔室頂蓋動作時提供導向作用。

在一些實施例中，所述圓頂組件的多個連接孔中至少一個連接孔形成第三連接孔組，所述通孔結構還包括與所述第三連接孔組對應的第三通孔組，所述第一導向機構包括與所述第三連接孔組中連接孔一一對應的第一導向桿，所述第一導向桿用于與所述第三連接孔組以及所述第三通孔組配合導向。

在一些實施例中，所述第三通孔組包括與所述第三連接孔組中的連接孔一一對應的第三通孔。