[發明專利]一種圓頂安裝治具

在審

• 申請號: 202211029438.3
• 申請日: 2022-08-25
• 公開（公告）號: CN115383699A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 陳浩淼
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B25H1/06
• 分類號: B25H1/06;B25H1/10
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李迪

1.一種圓頂安裝治具，用于將圓頂組件安裝于腔室頂蓋內側，所述圓頂組件具有多個連接孔，用于配合連接件鎖定所述圓頂組件和所述腔室頂蓋，且所述多個連接孔圍繞所述圓頂組件的軸線環形分布，其特征在于，包括：固定板、驅動機構和支架；

所述固定板通過所述驅動機構安裝于所述支架；所述驅動機構用于驅動所述固定板帶動所述圓頂組件沿預設方向朝向所述腔室頂蓋動作；

所述固定板具有安裝面，用于暫固所述圓頂組件，所述固定板上設置有與所述圓頂組件的多個連接孔對應的通孔結構；所述圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第一連接孔組，所述通孔結構包括與所述第一連接孔組對應的第一通孔組，所述第一通孔組用于露出所述第一連接孔組，以當所述圓頂組件與所述腔室頂蓋接觸時鎖緊所述圓頂組件與所述腔室頂蓋。

2.根據權利要求1所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述第一通孔組包括與所述第一連接孔組中的連接孔一一對應的第一通孔。

3.根據權利要求1所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第二連接孔組；

所述圓頂安裝治具還包括安裝于所述固定板的定位機構，所述定位機構凸出于所述安裝面并與所述第二連接孔組配合定位。

4.根據權利要求3所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述通孔結構還包括與所述第二連接孔組對應的第二通孔組；所述第二通孔組包括與所述第二連接孔組中的連接孔一一對應的第二通孔，所述定位機構包括與所述第二通孔一一對應的定位桿，所述定位桿與所述第二通孔連接并探出所述安裝面。

5.根據權利要求1所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述圓頂安裝治具還包括第一導向機構，所述第一導向機構安裝于所述腔室頂蓋，并與所述固定板滑動配合以為所述圓頂組件朝向所述腔室頂蓋動作時提供導向作用。

6.根據權利要求5所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述圓頂組件的多個連接孔中至少一個連接孔形成第三連接孔組，所述通孔結構還包括與所述第三連接孔組對應的第三通孔組，所述第一導向機構包括與所述第三連接孔組中連接孔一一對應的第一導向桿，所述第一導向桿用于與所述第三連接孔組以及所述第三通孔組配合導向。

7.根據權利要求6所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述第三通孔組包括與所述第三連接孔組中的連接孔一一對應的第三通孔。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述驅動機構包括驅動桿、固定架和連接桿，所述驅動桿安裝于所述支架，且通過所述固定架與所述連接桿傳動連接，所述連接桿背離所述固定架一端與所述固定板連接。

9.根據權利要求8所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述圓頂組件的多個連接孔中至少兩個連接孔形成第四連接孔組，所述通孔結構還包括與所述第四連接孔組對應的第四通孔組，所述第四通孔組包括與所述第四連接孔組中的連接孔一一對應的第四通孔，所述連接桿與所述固定板通過所述第四通孔連接。

10.根據權利要求9所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述連接桿貫穿所述第四通孔并與所述圓頂組件連接。

11.根據權利要求10所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述第四通孔為沉臺孔，且所述第四通孔的沉臺位于所述固定板背離所述安裝面一側。

12.根據權利要求8所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述圓頂安裝治具還包括第二導向機構，所述第二導向機構安裝于所述支架與所述固定架之間，用于為所述固定架沿預設方向動作時提供導向作用。

13.根據權利要求12所述的圓頂安裝治具，其特征在于，所述第二導向機構包括多個第二導向桿，任意一個所述第二導向桿與所述固定架的連接處均為第一位點，所述驅動桿與所述固定架的連接處為第二位點，多個所述第一位點與所述第二位點之間的距離均相等。