[發(fā)明專利]一種等離子體電極變形鏡

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211025460.0
• 申請日: 2022-08-25
• 公開（公告）號: CN115390237A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳振海;張君;龍蛟;薛嶠;鄭建剛;邵婷;肖凱博;張曉璐;林東暉;張雄軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06;G02B7/185;H05H1/24;H05H1/34
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

1.一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：包括窗口(1)；

反射鏡(4)，其與窗口(1)平行設(shè)置；

金屬陰極(3)，其位于窗口(1)與反射鏡(4)之間；

金屬陽極(2)，其位于窗口(1)與反射鏡(4)之間；

放電腔(5)，其位于窗口(1)與反射鏡(4)之間，其內(nèi)存儲有放電氣體，金屬陰極(3)和金屬陽極(2)與放電腔(5)內(nèi)的放電氣體接觸；

壓電層(6)，其與反射鏡(4)背面連接；

以及電極層(7)，其由多個分立電極陣列組成，并且與壓電層(6)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：還包括高壓電源(10)，其陽極和陰極分別與金屬陽極(2)和金屬陰極(3)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述金屬陽極(2)和金屬陰極(3)設(shè)置為鋁、鐵、銀或合金。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述金屬陽極(2)和金屬陰極(3)設(shè)置為矩形、鋸齒形或圓弧形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述金屬陰極(3)和金屬陽極(2)完全處于放電腔(5)內(nèi)且分別位于放電腔(5)兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述放電氣體設(shè)置為氦氣、氖氣、氬氣、氮氣或混合氣體。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述放電腔(5)內(nèi)的放電氣體在金屬陰極(3)和金屬陽極(2)的高壓電的作用下產(chǎn)生低溫等離子體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：所述壓電層(6)由壓電陶瓷材料或電致伸縮材料制成。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體電極變形鏡，其特征在于：還包括公共電極層(8)，其設(shè)置在壓電層(6)與電極層(7)之間；

以及輔助壓電層(9)，其設(shè)置在公共電極層(8)與電極層(7)之間。