[發(fā)明專利]一種鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211024679.9
• 申請(qǐng)日: 2022-08-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115394697A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申曌奉;徐文濤;陳晨;周劍;路坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州邁為科技股份有限公司;蘇州邁正科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L31/18;C23C14/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)，該鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)包括行走軌道和周轉(zhuǎn)行走裝置，周轉(zhuǎn)行走裝置可活動(dòng)地設(shè)在行走軌道上，周轉(zhuǎn)行走裝置用于裝載鍍膜載板，周轉(zhuǎn)行走裝置包括周轉(zhuǎn)小車和周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組，周轉(zhuǎn)小車可活動(dòng)地設(shè)在行走軌道上，周轉(zhuǎn)小車用于裝載鍍膜載板，周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組與周轉(zhuǎn)小車配合以驅(qū)動(dòng)周轉(zhuǎn)小車沿行走軌道的長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng)。該鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，使用成本較低，且能夠較好地避免鍍膜載板在運(yùn)輸過(guò)程中出現(xiàn)磨損，在延長(zhǎng)鍍膜載板使用壽命的同時(shí)，降低對(duì)鍍膜工藝造成的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備在工作過(guò)程中載板裝載硅片且在真空腔體內(nèi)進(jìn)行鍍膜，該設(shè)備包含上層真空腔體鍍膜系統(tǒng)、自動(dòng)化上下料系統(tǒng)和下回傳系統(tǒng)，下回傳系統(tǒng)的主要功能為將載板上的硅片取下后，通過(guò)升降架機(jī)構(gòu)將載板從高處運(yùn)載至下回傳傳輸機(jī)構(gòu)，再由下回傳傳輸機(jī)構(gòu)傳回上料處，上料處升降機(jī)構(gòu)接回載板，提升至上層上料機(jī)構(gòu)進(jìn)行放片，如此進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。而現(xiàn)有的下回傳傳輸機(jī)構(gòu)為多腔體通道動(dòng)態(tài)傳送結(jié)構(gòu)，載板通過(guò)回傳通道內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪進(jìn)行傳送。這種傳送結(jié)構(gòu)用到的電機(jī)和軸承較多，維護(hù)保養(yǎng)成本高，耗時(shí)長(zhǎng)。與此同時(shí)，載板在傳動(dòng)過(guò)程中伴隨較大的震動(dòng)，會(huì)對(duì)載板造成磨損，且載板與滾輪之間的摩擦?xí)a(chǎn)生粉塵，揚(yáng)起的粉塵附著在載板上，會(huì)對(duì)產(chǎn)品鍍膜造成污染。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提出一種鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)，該鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，使用成本較低，且能夠較好地避免鍍膜載板在運(yùn)輸過(guò)程中出現(xiàn)磨損，在延長(zhǎng)鍍膜載板使用壽命的同時(shí)，降低對(duì)鍍膜工藝造成的污染。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜載板運(yùn)輸系統(tǒng)，包括：行走軌道；周轉(zhuǎn)行走裝置，所述周轉(zhuǎn)行走裝置可活動(dòng)地設(shè)在所述行走軌道上，所述周轉(zhuǎn)行走裝置為沿所述行走軌道的長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置的多個(gè)，每個(gè)所述周轉(zhuǎn)行走裝置用于裝載鍍膜載板；接駁裝置，所述接駁裝置為多個(gè)，每個(gè)所述接駁裝置位于相鄰兩個(gè)所述周轉(zhuǎn)行走裝置之間，所述接駁裝置能夠?qū)⒁粋€(gè)所述周轉(zhuǎn)行走裝置上的所述鍍膜載板運(yùn)輸?shù)搅硪粋€(gè)所述周轉(zhuǎn)行走裝置上。

在一些實(shí)施例中，所述周轉(zhuǎn)行走裝置包括：周轉(zhuǎn)小車，所述周轉(zhuǎn)小車可活動(dòng)地設(shè)在所述行走軌道上，所述周轉(zhuǎn)小車用于裝載所述鍍膜載板；周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組，所述周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組與所述周轉(zhuǎn)小車配合以驅(qū)動(dòng)所述周轉(zhuǎn)小車沿所述行走軌道的長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng)。

在一些具體的實(shí)施例中，所述周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組包括：第一周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源，所述第一周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源與傳動(dòng)框架固定相連；傳動(dòng)帶組件，所述傳動(dòng)帶組件包括第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪、第二周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪以及周轉(zhuǎn)傳動(dòng)帶，所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪與所述第一周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源傳動(dòng)配合，所述周轉(zhuǎn)傳動(dòng)帶的兩端分別繞過(guò)所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪和所述第二周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪后與所述周轉(zhuǎn)小車固定相連。

在一些更具體的實(shí)施例中，所述傳動(dòng)帶組件為多個(gè)，多個(gè)所述傳動(dòng)帶組件沿與所述行走軌道垂直的方向間隔設(shè)置；所述周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組還包括第一周轉(zhuǎn)支撐塊、第二周轉(zhuǎn)支撐塊、第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸第二周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸，多個(gè)第一周轉(zhuǎn)支撐塊連接在所述傳動(dòng)框架上，所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸穿設(shè)在多個(gè)第一周轉(zhuǎn)支撐塊上且與多個(gè)所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪配合，所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸通過(guò)傳動(dòng)單元與所述第一周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源配合，多個(gè)第二周轉(zhuǎn)支撐塊連接在所述接駁裝置上，所述第二周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸穿設(shè)在多個(gè)第二周轉(zhuǎn)支撐塊上且與多個(gè)所述第二周轉(zhuǎn)傳動(dòng)輪配合。

在一些可選的實(shí)施例中，所述傳動(dòng)單元包括減速器、傳動(dòng)帶結(jié)構(gòu)，所述減速器與所述第一周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源配合，所述傳動(dòng)帶結(jié)構(gòu)與所述減速器及所述第一周轉(zhuǎn)傳動(dòng)軸配合。

在一些具體的實(shí)施例中，所述周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組包括：第二周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源，所述第二周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源設(shè)在所述周轉(zhuǎn)小車上；周轉(zhuǎn)齒輪，所述周轉(zhuǎn)齒輪設(shè)在所述第二周轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的輸出軸上；周轉(zhuǎn)齒條，所述周轉(zhuǎn)齒條與所述行走軌道平行設(shè)置，且與所述周轉(zhuǎn)齒輪配合。