[發明專利]一種鍍膜載板運輸系統

在審

• 申請號: 202211024679.9
• 申請日: 2022-08-25
• 公開（公告）號: CN115394697A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 申曌奉;徐文濤;陳晨;周劍;路坤
• 申請（專利權）人: 蘇州邁為科技股份有限公司;蘇州邁正科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;C23C14/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

1.一種鍍膜載板運輸系統，其特征在于，包括：

行走軌道(1)；

周轉行走裝置(2)，所述周轉行走裝置(2)可活動地設在所述行走軌道(1)上，所述周轉行走裝置(2)為沿所述行走軌道(1)的長度方向上設置，所述周轉行走裝置(2)用于裝載鍍膜載板,所述周轉行走裝置(2)包括：

周轉小車(21)，所述周轉小車(21)可活動地設在所述行走軌道(1)上，所述周轉小車(21)用于裝載所述鍍膜載板；

周轉驅動模組(22)，所述周轉驅動模組(22)與所述周轉小車(21)配合以驅動所述周轉小車(21)沿所述行走軌道(1)的長度方向運動。

2.根據權利要求1所述的鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述周轉驅動模組(22)包括：

第一周轉驅動源(221)，所述第一周轉驅動源(221)與傳動框架(4)固定連接；

傳動帶組件，所述傳動帶組件包括第一周轉傳動輪(2221)、第二周轉傳動輪(2222)以及周轉傳動帶(2223)，所述第一周轉傳動輪(2221)與所述第一周轉驅動源(221)傳動配合，所述周轉傳動帶(2223)的兩端分別繞過所述第一周轉傳動輪(2221)和所述第二周轉傳動輪(2222)后與所述周轉小車(21)固定相連。

3.根據權利要求2所述的鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述傳動帶組件為多個，多個所述傳動帶組件沿與所述行走軌道(1)垂直的方向間隔設置；所述周轉驅動模組(22)還包括第一周轉支撐塊(225)、第二周轉支撐塊(226)、第一周轉傳動軸(227)和第二周轉傳動軸(228)，多個所述第一周轉支撐塊(225)連接在所述傳動框架(4)上，所述第一周轉傳動軸(227)穿設在多個所述第一周轉支撐塊(225)上且與多個所述第一周轉傳動輪(2221)配合，所述第一周轉傳動軸(227)通過傳動單元(229)與所述第一周轉驅動源(221)配合，多個所述第二周轉支撐塊(226)連接在接駁裝置(3)或者傳動框架(4)上，所述第二周轉傳動軸(228)穿設在多個所述第二周轉支撐塊(226)上且與多個所述第二周轉傳動輪(2222)配合。

4.根據權利要求3所述的鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述傳動單元(229)包括減速器(2291)、傳動帶結構(2292)，所述減速器(2291)與所述第一周轉驅動源(221)配合，所述傳動帶結構(2292)與所述減速器(2291)及所述第一周轉傳動軸(227)配合。

5.根據權利要求1所述的鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述周轉驅動模組(22)包括：

第二周轉驅動源(210)，所述第二周轉驅動源(210)設在所述周轉小車(21)上；

周轉齒輪(220)，所述周轉齒輪(220)設在所述第二周轉驅動源(210)的輸出軸上；

周轉齒條(230)，所述周轉齒條(230)與所述行走軌道(1)平行設置，且與所述周轉齒輪(220)配合。

6.根據權利要求1-5任一項所述鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述鍍膜載板運輸系統還包括接駁裝置(3)，所述接駁裝置(3)位于相鄰兩個所述周轉行走裝置(2)之間，所述接駁裝置(3)能夠將一個所述周轉行走裝置(2)上的所述鍍膜載板運輸到另一個所述周轉行走裝置(2)上。

7.根據權利要求6任一項所述的鍍膜載板運輸系統，其特征在于，所述周轉小車(21)限定出周轉容納腔，所述周轉容納腔的沿所述行走軌道(1)的長度方向的兩端設有周轉出入口(211)，所述周轉容納腔沿與所述行走軌道(1)的長度方向垂直的方向相對兩個側壁上設有周轉支撐驅動模組，所述周轉支撐驅動模組用于支撐以及驅動所述鍍膜載板。