[發明專利]具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構

在審

• 申請號: 202210991207.4
• 申請日: 2022-08-18
• 公開（公告）號: CN116512111A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 何權乘
• 申請（專利權）人: 全鑫精密工業股份有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34;B24B49/00;B24B51/00;B24B53/017;B24B55/03
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

本發明提供一種具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其系包括一底座立柱組、一液靜壓主軸組、一液靜壓工作轉盤組及一冷凍機，借由底座立柱組提供液靜壓主軸組微小誤差傾角微調，使加工件加工不產生研磨頓痕及加工件撓曲，而液靜壓主軸組導入高壓氣體，該液靜壓主軸組內的液靜壓受高壓氣體的氣旋效應作用僅于內部循環，達到液靜壓主軸組的無磨耗及高轉速，另冷凍機與液靜壓主軸組及液靜壓工作轉盤組導通連接，消除研磨時加工件的受壓力及震動，且液靜壓工作轉盤組不會因為溫升而產生加工件的變形，以達加工穩定性及精工精密度高的功效。

技術領域

本發明有關于一種具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，尤指一種應用于高穩定性及高剛性的研磨機結構所屬技術領域。

背景技術

目前現有技術研磨機或磨床結構如圖10所示，其床臺50包括一本體外殼模組51、一旋轉工作臺模組52、一氣壓軸承模組53及一調整機構模組54，所述本體外殼模組51固設于磨床床臺50，所述旋轉工作臺模組52呈可旋轉的設于本體外殼模組51上，該旋轉工作臺模組52設有一晶圓吸附裝置，所述氣壓軸承模組53裝設于本體外殼模組51上，所設調整機構模組54設于本體外殼模組51上，借由氣壓軸承模組53引導壓力空氣至本體外殼模組51及旋轉工作臺模組52的邊界間，使氣壓軸承模組53相對本體外殼模組51形成氣墊效果，于加工時晶圓片產生側向抵消的效果，且晶圓吸附裝置吸附晶圓片于旋轉工作臺模組52提升穩定的縱向加工品質，但其在研磨上仍存在壓力差與震動的不確定因素，將影響晶圓片加工后的總厚度變化，故有改良的必要。

發明內容

本發明有鑒于現有技術中研磨機或磨床結構的加工穩定性及加工精確性不足的問題，以完成本發明的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構。

本發明的主要目的在于提供一種具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其包括一底座立柱組、一液靜壓主軸組、一液靜壓工作轉盤組及一冷凍機，所述底座立柱組設有一底座體及一立柱體，該立柱體設于底座體頂面的一側，而該立柱體設有一升降驅動螺桿線軌體，該升降驅動螺桿線軌體滑動設有一固定滑座，且該固定滑座樞設有可左、右傾斜調整的一左右傾角調整座，所述液靜壓主軸組設有一液靜壓驅動研磨主軸及一主軸頭，該主軸頭固設于液靜壓驅動研磨主軸端側，而該主軸頭端側結合設有一研磨砂輪盤，且該液靜壓驅動研磨主軸內設有液壓迷宮腔，該液壓迷宮腔內設有內循環油，而該液靜壓驅動研磨主軸端側設有一氣壓入口，該氣壓入口導入高壓空氣并與液壓迷宮腔導通，而該氣壓入口與液壓迷宮腔導通處設有一向量節流閥，該氣壓入口導入的高壓氣體于液壓迷宮腔內形成氣旋效應，所述液靜壓工作轉盤組設有一旋轉臺、一多孔隙載具及一真空產生器，該旋轉臺設有一液靜壓內循環油路及一真空抽取氣道，而該液靜壓內循環油路內設有內循環油，該多孔隙載具固設于旋轉臺表面，而該多孔隙載具的孔隙與旋轉臺所設真空抽取氣道導通，該真空抽取氣道與真空產生器導通連接，于真空產生器作用時提供多孔隙載具負壓吸力，所述冷凍機設有一循環冷卻入口端及一循環冷卻出口端，其液靜壓主軸組的液靜壓驅動研磨主軸，固設于底座立柱組的立柱體所設升降驅動螺桿線軌體的固定滑座所設左右傾角調整座，而該液靜壓工作轉盤組固設于底座立柱組的底座體頂面，且該冷凍機的循環冷卻入口端及循環冷卻出口端，分別與液靜壓驅動研磨主軸的液壓迷宮腔及旋轉臺所設液靜壓內循環油路導通連接。

在一較佳實施例中，該立柱體進一步設有一感應式光學尺，經由該感應式光學尺進行液靜壓主軸組的進給深度偵測，提升加工的精確性，以提升本發明的多重實用性。

在一較佳實施例中，該底座體相對于立柱體所設液靜壓主軸組旁設有一升降式修砂組，經由該升降式修砂組上升以進行液靜壓主軸組所設主軸頭的研磨砂輪盤的修砂加工，以提升本發明的多重實用性。

在一較佳實施例中，該底座體相對于液靜壓工作轉盤組旁設有一厚度量測控制儀，經由該厚度量測控制儀偵測液靜壓工作轉盤組的加工件厚度，當加工件達到預定厚度，則厚度量測控制儀傳遞控制訊息至液靜壓主軸組進行停機，提升加工的精確性，以提升本發明的多重實用性。