[發(fā)明專利]具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構

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• 申請日: 2022-08-18
• 公開（公告）號: CN116512111A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設計）人: 何權乘
• 申請（專利權）人: 全鑫精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34;B24B49/00;B24B51/00;B24B53/017;B24B55/03
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

1.一種具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，包括：

一底座立柱組，所述底座立柱組設有一底座體及一立柱體，該立柱體設于底座體頂面的一側，而該立柱體設有一升降驅動螺桿線軌體，該升降驅動螺桿線軌體滑動設有一固定滑座，且該固定滑座樞設有可左、右傾斜調整的一左右傾角調整座；

一液靜壓主軸組，所述液靜壓主軸組設有一液靜壓驅動研磨主軸及一主軸頭，該主軸頭固設于液靜壓驅動研磨主軸端側，而該主軸頭端側結合設有一研磨砂輪盤，且該液靜壓驅動研磨主軸內設有液壓迷宮腔，該液壓迷宮腔內設有內循環(huán)油，而該液靜壓驅動研磨主軸端側設有一氣壓入口，該氣壓入口導入高壓空氣并與液壓迷宮腔導通，而該氣壓入口與液壓迷宮腔導通處設有一向量節(jié)流閥，該氣壓入口導入的高壓氣體于液壓迷宮腔內形成氣旋效應，其液靜壓驅動研磨主軸固設于底座立柱組的立柱體所設升降驅動螺桿線軌體的固定滑座所設左右傾角調整座；

一液靜壓工作轉盤組，所述液靜壓工作轉盤組設有一旋轉臺、一多孔隙載具及一真空產生器，該旋轉臺設有一液靜壓內循環(huán)油路及一真空抽取氣道，而該液靜壓內循環(huán)油路內設有內循環(huán)油，該多孔隙載具固設于旋轉臺表面，而該多孔隙載具的孔隙與旋轉臺所設真空抽取氣道導通，該真空抽取氣道與真空產生器導通連接，于真空產生器作用時提供多孔隙載具負壓吸力，其液靜壓工作轉盤組固設于底座立柱組的底座體頂面；以及

一冷凍機，所述冷凍機設有一循環(huán)冷卻入口端及一循環(huán)冷卻出口端，其循環(huán)冷卻入口端及循環(huán)冷卻出口端，分別與液靜壓主軸組的液靜壓驅動研磨主軸所設液壓迷宮腔，及液靜壓工作轉盤組的旋轉臺所設液靜壓內循環(huán)油路導通連接。

2.根據權利要求1所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該底座立柱組的立柱體所設升降驅動螺桿線軌體的固定滑座所設左右傾角調整座，可相對使固設的液靜壓驅動研磨主軸進行微小誤差的傾角微調，于加工件加工時不產生研磨頓痕及加工件的撓曲。

3.根據權利要求1所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該液靜壓驅動研磨主軸的氣壓入口導入的高壓氣體，于液壓迷宮腔內形成氣旋效應，使內循環(huán)油僅于液壓迷宮腔中進行循環(huán)，使液靜壓驅動研磨主軸達到無磨耗及高轉速。

4.根據權利要求1所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該冷凍機的循環(huán)冷卻入口端及循環(huán)冷卻出口端，分別與液靜壓驅動研磨主軸的液壓迷宮腔及旋轉臺所設液靜壓內循環(huán)油路導通連接，使液壓迷宮腔及液靜壓內循環(huán)油路內的內循環(huán)油，維持在條件溫度的正負2度，使研磨時加工件消除加工件的受壓力及震動，且液靜壓工作轉盤組不會因為溫升而產生加工件的變形。

5.根據權利要求1至4項中任一項所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該立柱體進一步設有一感應式光學尺，經由該感應式光學尺進行液靜壓主軸組的進給深度偵測。

6.根據權利要求1至4項中任一項所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該底座體相對于立柱體所設液靜壓主軸組旁設有一升降式修砂組，經由該升降式修砂組上升以進行液靜壓主軸組所設主軸頭的研磨砂輪盤的修砂加工。

7.根據權利要求1至4項中任一項所述的具液靜壓主軸與液靜壓旋轉平臺的研磨機結構，其特征在于，該底座體相對于液靜壓工作轉盤組旁設有一厚度量測控制儀，經由該厚度量測控制儀偵測液靜壓工作轉盤組的加工件厚度，當加工件達到預定厚度，則厚度量測控制儀傳遞控制訊息至液靜壓主軸組進行停機。