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[發(fā)明專利]一種電子級四氟甲烷的純化方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202210916144.6 申請日: 2022-08-01
公開(公告)號: CN115073261A 公開(公告)日: 2022-09-20
發(fā)明(設(shè)計)人: 張建偉;花瑩曦;吝秀鋒;陳潤澤;倪珊珊;李欣;姜世楠;劉靜 申請(專利權(quán))人: 中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司
主分類號: C07C17/38 分類號: C07C17/38;C07C17/383;C07C17/395;C07C19/08
代理公司: 西安匯恩知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61244 代理人: 彭瓊
地址: 057550 河北省邯*** 國省代碼: 河北;13
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 電子 級四氟 甲烷 純化 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,該方法為:

S1、將粗品四氟甲烷原料與甲醇-鋅粉漿料在溫度為80℃~110℃、壓力為0.5MPa~1.0MPa的在吸收塔中進行預(yù)反應(yīng),反應(yīng)后得到混合氣體,并排出固體廢料;所述甲醇-鋅粉漿料中甲醇和鋅粉的質(zhì)量比為(5~15):1;

S2、將S1中得到的混合氣體通入脫輕塔中進行一級精餾,脫除輕組分雜質(zhì),得到脫輕后混合氣體;

S3、將S2中得到的脫輕后混合氣體通入脫重塔中進行二級精餾,脫除重組分雜質(zhì),得到電子級四氟甲烷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S1中所述粗品四氟甲烷原料和甲醇-鋅粉漿料的質(zhì)量比為100:(22~44)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S1中所述混合氣體包括四氟甲烷、氮氣、氧氣、一氧化碳、甲烷、乙烷、六氟化硫、二氧化碳、水、二氟甲烷、三氟甲烷、一氟甲烷和甲醇;所述固體廢料包括氯化鋅和氫氧化鋅。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S2中所述脫輕塔的理論板數(shù)為30~50塊,回流比為100~300,塔頂溫度為-75℃~-65℃,操作壓力為1.8MPa~2.2MPa。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S2中所述輕組分雜質(zhì)包括氮氣、氧氣、一氧化碳和甲烷。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S2中所述脫輕后混合氣體包括二氧化碳、六氟化硫、四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、一氟甲烷、甲醇、水和乙烷。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S3中所述脫重塔的理論板數(shù)為30~50塊,回流比為10~30,塔頂溫度為-70℃~-60℃,操作壓力為1.8MPa~2.2MPa。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S3中所述重組分雜質(zhì)包括二氧化碳、乙烷、一氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、水、甲醇和六氟化硫。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級四氟甲烷的純化方法,其特征在于,S3中所述電子級四氟甲烷的純度≥99.999%。

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