[發明專利]一種五氟化磷氣體發生器和五氟化磷氣體發生方法

有效

• 申請號: 202210916053.2
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN115072681B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 李振星;許晟;陳宏偉;西松江英
• 申請（專利權）人: 森松（江蘇）重工有限公司
• 主分類號: C01B25/10
• 分類號: C01B25/10
• 代理公司: 上海知義律師事務所 31304
• 代理人: 夏宇

1.一種五氟化磷氣體發生器，包括：由上筒體和下筒體構成的發生器筒體、設置在該發生器筒體內的攪拌裝置、液態氟化氫供給裝置以及與該發生器筒體連通的將五氟化磷氣體輸送至下一工序裝置的氣體輸送管路，其特征在于，

所述上筒體上設置有用于將液態氟化氫加入至發生器筒體內的液體物料加入器，各所述液體物料加入器通過液態氟化氫供給管路與所述液態氟化氫供給裝置相連；

所述下筒體，具有沿下筒體內壁設置的液態氟化氫滲透夾套，該液態氟化氫滲透夾套，具有用于承載和接觸所述發生器筒體內的五氯化磷固體物料的隔離濾板，該液態氟化氫滲透夾套通過液態氟化氫供給管路與所述液態氟化氫供給裝置相連；

通過所述液態氟化氫供給裝置供給到所述液態氟化氫滲透夾套的液態氟化氫，通過隔離濾板滲透到所述發生器筒體內，與所述發生器筒體內的五氯化磷固體物料進行反應。

2.如權利要求1所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述液態氟化氫滲透夾套，至少其所述隔離濾板形成為錐體狀。

3.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述隔離濾板，采用多層燒結濾網。

4.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述上筒體和所述下筒體的至少一者的外壁上設置有冷卻夾套，所述冷卻夾套通過冷卻媒介輸送管路與冷卻循環裝置相連。

5.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述攪拌裝置，具有中空構造的螺帶，且該螺帶與冷卻循環裝置相連。

6.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述氣體輸送管路上設置有粉體過濾器。

7.如權利要求4所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于，

所述發生器筒體內設有溫度變送器，所述冷卻媒介輸送管路上設有調節閥。

8.一種利用如權利要求1至7中任一項記載的五氟化磷氣體發生器來產生五氟化磷氣體的五氟化磷氣體發生方法，其中，至少包括以下工序：

將五氯化磷固體物料加入到所述發生器筒體內的固體物料加料工序；和

通過所述液體物料加入器將液態氟化氫加入到所述發生器筒體內的液體物料加料工序；和

通過所述液態氟化氫滲透夾套將液態氟化氫滲透加入到所述發生器筒體內的液體物料滲透工序。

9.如權利要求8所述的五氟化磷氣體發生方法，其特征在于，

通過所述液體物料加料工序來調整所述發生器筒體內的壓力，當所述發生器筒體內的壓力達到規定壓力后，再通過所述液態氟化氫滲透夾套將液態氟化氫滲透加入到所述發生器筒體內。