[發(fā)明專利]體聲波諧振器和體聲波濾波器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210895844.1
• 申請日: 2022-07-26
• 公開（公告）號: CN115133902B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王健
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/58;H03H9/56
• 代理公司: 北京康盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11331
• 代理人: 武旭妹

本申請?zhí)峁┮环N體聲波諧振器，包括基板、支撐層、壓電層、底部電極、頂部電極和至少一個(gè)釋放孔，其中，支撐層設(shè)置在基板上，包括多邊形空腔，該多邊形空腔在與從基板到支撐層的第一方向相交的平面上具有三條以上的邊；壓電層設(shè)置在支撐層上；底部電極設(shè)置在壓電層下方，與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第一側(cè)；頂部電極設(shè)置在壓電層上方，與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第二側(cè)；釋放孔在壓電層中形成并且與空腔部分重疊。本申請?zhí)峁┻€一種體聲波濾波器。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，尤其涉及一種具有至少一個(gè)釋放孔的體聲波諧振器和體聲波濾波器。

背景技術(shù)

體聲諧振器是一種包括薄膜的裝置，該薄膜由壓電材料制成并設(shè)置在兩個(gè)電極之間。體聲諧振器設(shè)備通?；诎雽?dǎo)體微加工技術(shù)制造。

由于體聲諧振器設(shè)備的厚度較小，可以用于需要高頻率、小尺寸和輕重量的應(yīng)用中。體聲諧振器設(shè)備的一種示例性應(yīng)用是在移動通信設(shè)備中使用的體聲諧振器濾波器。

體聲波濾波器可以包括多種體聲波諧振器，亟需制成具有更小尺寸的體聲波濾波器。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本公開的一個(gè)方面，提供了一種體聲波諧振器。體聲波諧振器包括基板、設(shè)置在基板上的支撐層、設(shè)置在支撐層上的壓電層、位于壓電層下方的底部電極以及位于壓電層上方的頂部電極，其中：支撐層包括在與從基板到支撐層的第一方向相交的平面上具有三條邊以上的多邊形空腔；底部電極與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第一側(cè)；頂部電極與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第二側(cè)。體聲波諧振器還包括至少一個(gè)釋放孔，該釋放孔形成在壓電層中并且與空腔的一部分重疊。釋放孔包括以下至少之一：第一釋放孔，位于不同于空腔的第一側(cè)和第二側(cè)的一側(cè)附近；第二釋放孔，位于空腔兩側(cè)相交處的空腔頂點(diǎn)附近，且不與底部電極或頂部電極重疊；第三釋放孔，位于空腔的第一側(cè)附近，并與底部電極重疊；第四釋放孔，位于空腔的第二側(cè)附近，并與頂部電極重疊。

根據(jù)本公開的另一個(gè)方面，提供了一種體聲波濾波器。體聲波濾波器包括彼此相鄰的第一體聲波諧振器和第二體聲波諧振器。第一體聲波諧振器包括：基板；支撐層，設(shè)置在基板上，包括具有三條邊以上的多邊形空腔，空腔的一側(cè)與第二體聲波諧振器的空腔共用；壓電層，設(shè)置在支撐層上；底部電極，設(shè)置在壓電層下方，與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第一側(cè)；頂部電極，設(shè)置在壓電層上方，與空腔部分重疊，并延伸穿過空腔的第二側(cè)。第一體聲波諧振器包括形成在壓電層中并且與空腔的一部分重疊的至少一個(gè)釋放孔。釋放孔包括以下至少之一：第一釋放孔，位于不同于空腔的第一側(cè)和第二側(cè)的一側(cè)附近；第二釋放孔，位于空腔兩側(cè)相交處的空腔頂點(diǎn)附近，且不與底部電極或頂部電極重疊；第三釋放孔，位于空腔的第一側(cè)附近，并與底部電極重疊；第四釋放孔，位于空腔的第二側(cè)附近，并與頂部電極重疊；第五釋放孔，位于與第二體聲波諧振器的空腔共用的空腔一側(cè)的端部附近。

附圖說明

包含在本申請中并構(gòu)成本申請一部分的附圖示出了所公開的實(shí)施例，并且與描述一起用于解釋所公開的實(shí)施例。

圖1是根據(jù)本公開實(shí)施例提供的用于體聲波濾波器的體聲波諧振器的俯視圖；

圖2A是用于圖1的體聲波濾波器的體聲波諧振器的俯視圖，示出了體聲波濾波器上的橫截面線A－A＇和B－B＇；

圖2B是用于圖2A的體聲波濾波器的體聲波諧振器的沿橫截面線A－A＇或B－B＇的橫截面圖；

圖3A是用于圖1的體聲波濾波器的體聲波諧振器的俯視圖，示出了體聲波濾波器上的橫截面線C－C＇；

圖3B是用于圖3A的體聲波濾波器的體聲波諧振器的沿橫截面線C－C＇的橫截面圖；

圖4A是用于圖1的體聲波諧振器的體聲波濾波器的俯視圖，示出了體聲波濾波器上的橫截面線D－D＇；

圖4B是用于圖4A的體聲波濾波器的體聲波諧振器的沿橫截面線D－D＇的橫截面圖；