[發(fā)明專利]陣列基板及其制備方法、顯示面板

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• 申請日: 2022-07-27
• 公開（公告）號: CN115312537A
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王昕童
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;G02F1/1362
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 高爽

本發(fā)明公開了一種陣列基板及其制備方法、顯示面板，制備方法包括：提供一玻璃襯底；在玻璃襯底上形成柵極金屬層，玻璃襯底和柵極金屬層表面分布有多個含氧基團，含氧基團的結(jié)構(gòu)通式為“?O?”；在柵極金屬層上形成柵極絕緣層，含氧基團與柵極絕緣層中的硅原子通過化學(xué)鍵結(jié)合形成硅氧基團。通過對玻璃襯底和柵極金屬層進行表面處理，利用含氧基團與柵極絕緣層中的硅原子通過化學(xué)鍵結(jié)合形成硅氧基團，用這種化學(xué)鍵作用能夠增強柵極絕緣層與柵極金屬層和玻璃襯底之間的附著力，從而改善在進行拉拔力測試接著力時，因附著力差造成的柵極絕緣層出現(xiàn)剝離的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板及其制備方法、顯示面板。

背景技術(shù)

近年來，超窄邊框顯示器越來越受到關(guān)注。雖然市場對超窄邊框顯示器的品質(zhì)要求逐漸提高，但是顯示器接著力偏低的問題一直沒有得到充分的解決。超窄邊框顯示器中位于邊緣區(qū)域的金屬線的布置相較于普通顯示器更為密集，這會導(dǎo)致邊緣區(qū)域的柵極絕緣層更多地是與柵極金屬層接觸。由于柵極絕緣層與柵極金屬層之間的接觸屬于分子間作用力，柵極絕緣層與玻璃襯底之間的接觸為化學(xué)鍵，因此，柵極絕緣層與玻璃襯底之間具有更強的接著力，在超窄邊框顯示器在進行拉拔力測試接著力時，經(jīng)常出現(xiàn)因柵極絕緣層剝離而導(dǎo)致的接著力問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種陣列基板及其制備方法、顯示面板，以解決現(xiàn)有的陣列基板在進行拉拔力測試接著力時，出現(xiàn)因柵極絕緣層剝離的技術(shù)問題。

為解決上述問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種陣列基板的制備方法，包括以下步驟：

提供一玻璃襯底；

在所述玻璃襯底上形成柵極金屬層，所述玻璃襯底和所述柵極金屬層表面分布有多個含氧基團，所述含氧基團的結(jié)構(gòu)通式為“-O-”；以及

在所述柵極金屬層上形成柵極絕緣層，所述含氧基團與所述柵極絕緣層中的硅原子通過化學(xué)鍵結(jié)合形成硅氧基團。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，所述在所述玻璃襯底上形成柵極金屬層的步驟包括：

將至少一種含氧化合物溶于水洗試劑中；以及

采用所述水洗試劑對所述玻璃襯底和所述柵極金屬層進行水洗清潔，在所述柵極金屬層和所述玻璃襯底表面形成多個所述含氧基團。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，所述在所述柵極金屬層上形成柵極絕緣層的步驟包括：

提供一無機溶液；

將所述無機溶液形成于所述玻璃襯底和所述柵極金屬層表面；

對所述陣列基板進行加熱處理，所述含氧化合物發(fā)生開環(huán)反應(yīng)，得到多個所述含氧基團，所述含氧基團與所述柵極絕緣層中的硅原子通過化學(xué)鍵結(jié)合形成硅氧基團；以及

冷卻至室溫，得到所述柵極絕緣層。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，在所述提供一無機溶液的步驟之后，所述制備方法還包括：

將至少一種所述含氧化合物溶于無機溶液中，攪拌均勻。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，所述含氧化合物包括環(huán)氧化合物和呋喃化合物中的其中一種。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，所述含氧化合物中的所述含氧基團的質(zhì)量分數(shù)范圍為2.5％～3％。

根據(jù)本發(fā)明提供的陣列基板的制備方法，在形成所述柵極金屬層的步驟之前，所述制備方法還包括：

采用臭氧清洗機對所述玻璃襯底進行清洗，在所述玻璃襯底表面形成多個所述含氧基團；