[發明專利]一種用于微小零件的專用型陰極平臺

在審

• 申請號: 202210883986.6
• 申請日: 2022-07-26
• 公開（公告）號: CN115287615A
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發明（設計）人: 匡國慶
• 申請（專利權）人: 鎮江市德利克真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 鎮江基德專利代理事務所(普通合伙) 32306
• 代理人: 劉蘭

1.一種用于微小零件的專用型陰極平臺，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂端安裝有中部板(2)，中部板(2)的兩側對稱安裝有陰極體(3)，陰極體(3)的底端等距安裝于絕緣支架(4)，陰極體(3)的頂端開設有環形槽(5)，環形槽(5)的內部安裝有磁靴(6)，磁靴(6)的內部安裝有磁鐵，環形槽(5)的頂端安裝有第一壓板(7)，第一壓板(7)的頂端安裝有第二壓板(8)，陰極體(3)的內部安裝有調距機構(9)。

2.根據權利要求1所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述調距機構(9)包括橫向調節組件(901)和縱向調節組件(902)，其中橫向調節組件(901)包括安裝于底座(1)頂端的電機(9011)，電機(9011)的輸出軸頂端安裝有轉板(9012)，轉板(9012)的頂端安裝有第一固定桿(9013)，第一固定桿(9013)的外側轉動連接有轉桿(9014)，轉桿(9014)的一端轉動連接有第二固定桿(9015)，第二固定桿(9015)的底端安裝有連接桿(9016)，連接桿(9016)的一側對稱安裝有齒條(9017)，齒條(9017)插接于齒條槽(9018)內部，齒條槽(9018)開設于陰極體(3)的內部。

3.根據權利要求2所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述縱向調節組件(902)包括等距開設于陰極體(3)內部的弧槽(9021)，縱向調節組件(902)的內頂壁對稱安裝有固定環(9023)，固定環(9023)的內部安裝轉塊(9022)，轉塊(9022)的外壁等角度開設有齒槽(9024)，轉塊(9022)的兩側對稱開設有螺槽(9025)，螺槽(9025)的內部安裝有螺桿(9026)，螺桿(9026)的內部開設有限位槽(9027)，限位槽(9027)的內部插接有限位板(9028)，限位板(9028)的頂端與弧槽(9021)的內頂壁固定連接，螺桿(9026)的一側安裝有頂頭(9029)，頂頭(9029)的一側設有頂塊(90210)，頂塊(90210)對稱安裝于弧槽(9021)內部，其中一個頂塊(90210)的一側安裝有供氣調節機構(10)。

4.根據權利要求3所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述齒條槽(9018)開設于齒槽(9024)下方，且齒條(9017)的頂端與齒槽(9024)嚙合連接。

5.根據權利要求3所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述弧槽(9021)呈半圓環狀，且弧槽(9021)的頂端貫穿至環形槽(5)內部，頂塊(90210)與弧槽(9021)滑動連接，頂塊(90210)底端開設有斜面。

6.根據權利要求3所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述供氣調節機構(10)包括安裝于其中一個頂塊(90210)一側的側桿(1006)，側桿(1006)的一側設有活動塊(1007)，活動塊(1007)插接于活動槽(1005)的內部，且活動槽(1005)等距開設于陰極體(3)內部，活動塊(1007)的一側安裝有彈簧(1008)，活動塊(1007)的一側安裝有頂桿(1009)，頂桿(1009)貫穿至陰極體(3)的外部，且彈簧(1008)套接于頂桿(1009)外部，頂桿(1009)的一端安裝有擋塊(1010)，擋塊(1010)插接于調節槽(1004)內部，調節槽(1004)的兩側對稱開設有連通槽(1002)，連通槽(1002)的頂端開設有出氣槽(1003)，出氣槽(1003)貫穿至中部板(2)的外部。

7.根據權利要求6所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述連通槽(1002)的底端開設有進氣管槽(1001)，進氣管槽(1001)開設于中部板(2)內部，且進氣管槽(1001)的兩端安裝有循環氣管。

8.根據權利要求7所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述連通槽(1002)呈方形槽道設置，且連通槽(1002)的寬度與擋塊(1010)的寬度相同，出氣槽(1003)傾斜開設。

9.根據權利要求6所述的一種用于微小零件的專用型陰極平臺，其特征在于：所述側桿(1006)一端的延長線與弧槽(9021)的圓心相交，頂塊(90210)的頂端與弧槽(9021)的頂端相平齊。