[發明專利]一種銅及合金過氧化氫化學拋光體系中改進脫膜工序的新方法

在審

• 申請號: 202210829683.6
• 申請日: 2022-07-06
• 公開（公告）號: CN115110085A
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 趙曉峰
• 申請（專利權）人: 趙曉峰
• 主分類號: C23G1/10
• 分類號: C23G1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于銅及合金表面處理技術領域，公開了銅及合金化學拋光(也稱光亮清洗，文件中所有銅及合金化學拋光的名詞和光亮清洗均表達同一個意思)技術工藝中，用于改進脫膜工序的一種新方法，其描述如下：在銅及合金過氧化氫化學拋光技術工藝中，經過化學拋光以后的銅及合金表面會產生一層氧化膜，需要在下道工序中褪除，而在傳統技術工藝中，脫膜通常都采用稀硫酸浸洗的方法來實現，但在浸洗過程中，因微量溶解氧的存在，其表面很容出現不均勻腐蝕，因此稀硫酸脫膜并不很穩定。本人經過反復試驗后，發明了用氨基磺酸、硫酸氫銨、甲酸及其水溶液來替代稀硫酸脫膜的新方法，它比磷酸更環保，比乙酸成本更低，有效地實現了環保和低成本的雙重效益。

技術領域

本發明屬于銅及合金表面處理技術領域，具體涉及一種銅及合金清洗方法中一道工序的改進新方法。

背景技術

在銅及合金過氧化氫化學拋光技術工藝中，銅及合金光亮清洗以后，其表面所產生的氧化膜層褪除方法記載于專業書籍和專業文獻資料中的方法通常都采用稀硫酸浸洗來完成，但實踐證明，在銅及合金大規模量產連續清洗作業中，稀硫酸脫膜的工藝方法穩定性并不是很理想，并不能完全滿足銅及合金的大規模連續清洗的生產要求。因此，需要尋找一種比稀硫酸穩定性更可靠，比磷酸更環保，比乙酸(冰醋酸)成本更低的新的脫膜清洗方法就顯得極具現實意義。

發明內容

為了解決現有技術存在的上述問題，本發明的目的在于提供了一種改進銅及合金清洗技術中脫膜工序的新方法。

步驟一、酸洗(詳見專利號為ZL201810791575.8，專利名稱為《一種銅合金清洗方法》)

步驟二、出光(詳見專利號為ZL201810791575.8專利名稱為《一種銅合金清洗方法》)

步驟三、脫膜：將步驟二中所得的銅及合金多次分別在體積百分比為：氨基磺酸1～2.5％ (質量)，加水至100％；硫酸氫銨1～2.5％(質量)，加水至100％；甲酸5～20％(質量)，加水至100％，混合后制成的脫膜液中浸洗后并清洗干凈。

優選地，銅及合金清洗方法還包括步驟四和步驟五(詳見專利名稱為《一種銅合金清洗方法》中詳細描述。

優選地，所述步驟三中脫膜液由體積百分比為：氨基磺酸1.6％(質量)，加水至100％；硫酸氫銨1.6％(質量)，加水至100％；甲酸10％(質量)，加水至100％混合制成。

優選地，所述步驟三中浸洗時間為3～60秒，浸洗溫度為常溫。

本發明的有益效果為：

本發明所提供的在銅及合金過氧化氫化學拋光體系中用于氧化膜層的褪除新方法比稀硫酸脫膜更穩定可靠，比磷酸更環保且成本更低，其現實意義在于---將銅及合金光亮環保清洗技術的先進性又向前推進了一大步。

附圖說明

圖1為酸洗工序附圖

圖2為出光工序附圖

圖3為脫膜工序附圖

圖4為鈍化工序附圖

圖5為干燥工序附圖

以上5張附圖是具體實施案例中的整個工藝流程圖。

具體實施方式

案例一：

步驟一、酸洗：將銅合金線材在按體積百分百比為98％的工業硫酸9％，50％含量雙氧水9％和冰醋酸0.6％加水至100％混合制成的酸洗液中浸洗50秒后取出并用清水沖干凈 (如附圖1)，浸洗溫度為常溫。

步驟二、出光：將步驟一中所得銅合金線材在體積百分比為50％含量雙氧水15％和98％含量工業硫酸0.3％加水至100％混合制成的出光液中浸洗50秒后取出并沖水沖干凈(如附圖2)，浸洗溫度為常溫。