[發(fā)明專利]一種銅及合金過氧化氫化學(xué)拋光體系中改進(jìn)脫膜工序的新方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210829683.6 | 申請(qǐng)日： | 2022-07-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN115110085A | 公開（公告）日： | 2022-09-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙曉峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 趙曉峰 |
| 主分類號(hào)： | C23G1/10 | 分類號(hào)： | C23G1/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 724400 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 合金 過氧化氫 化學(xué)拋光 體系 改進(jìn) 工序 新方法 | ||
1.一種用于改進(jìn)銅及合金過氧化氫化學(xué)拋光技術(shù)工藝中褪除銅及合金表面氧化膜層的新方法，其特征描述如下：
將銅及合金依次酸洗，化學(xué)拋光(過氧化氫化學(xué)拋光體系中的某種化學(xué)拋光方法)，并用自來水清洗干凈，瀝干以后分別在體積比為：氨基磺酸(NH2SO3H)2％(質(zhì)量)，加水至100％；硫酸氫銨(NH4HSO4)2％(質(zhì)量)，加水至100％；甲酸(HCOOH)10％(質(zhì)量)，加水至100％的混合制成的脫膜液中浸洗后取出并清洗干凈，然后鈍化并清洗干凈，最后浸熱水并烘干。
2.根據(jù)權(quán)利1要求所述的銅及合金清洗方法，其特征在于：銅及合金酸洗以后所采用的光亮清洗方法為銅及合金過氧化氫化學(xué)拋光體系中的某一種化學(xué)拋光方法，并且經(jīng)過該種化學(xué)拋光方法拋光以后的銅及合金表面需要褪除氧化膜層的化學(xué)拋光方法。
3.根據(jù)權(quán)利1中所述的銅及合金清洗方法其中氨基磺酸最佳使用比例為1～2.5％(質(zhì)量)，硫酸氫銨1～2.5％，甲酸5～20％。
4.根據(jù)權(quán)利1或權(quán)利3所述的銅合金清洗方法，其特征在于：銅及合金在脫膜液中合理浸洗時(shí)間為1～60秒，浸洗溫度優(yōu)先為常溫。
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