[發明專利]一種多晶圓跳測賦值方法、系統、電子設備及存儲介質

有效

• 申請號: 202210823043.4
• 申請日: 2022-07-14
• 公開（公告）號: CN114896238B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 王倩;王曉明;趙曉明;董國慶;文國昇;金從龍
• 申請（專利權）人: 江西兆馳半導體有限公司
• 主分類號: G06F16/215
• 分類號: G06F16/215;G06F16/2455
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 何世磊

1.一種多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，包括：

根據WAT抽檢站點的良率，判斷所述良率是否大于預設值；

若是，則沿著預定方向按照預設間距針對多晶圓進行跳測抽檢，獲取若干抽檢晶粒的數據；其中，所述數據包括電性參數和光性參數；

沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據是否均處于預設卡控范圍內；

若是，則針對相鄰兩所述抽檢晶粒之間的未測試晶粒數據進行賦值；其中，所述未測試晶粒數據的電性參數的賦值按照復制方式進行補充，以及光性參數的賦值按照線性方式補充；

若否，則基于當前抽檢晶粒按照預設擴大范圍在所述抽檢晶粒中查找到目標抽檢晶粒，并將所述當前抽檢晶粒與所述目標抽檢晶粒之間的未測試晶粒的數據進行賦值；其中，所述當前抽檢晶粒及所述目標抽檢晶粒的數據均處于所述預設卡控范圍內；

輸出所述多晶圓的全部晶粒數據。

2.根據權利要求1所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據是否均處于預設卡控范圍內的步驟之后，所述方法包括：

若沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據不處于預設卡控范圍內，則基于當前抽檢晶粒按照預設擴大范圍在所述抽檢晶粒中未查找到目標抽檢晶粒，并將所述預設擴大范圍內的未測試晶粒的數據放棄賦值；其中，所述當前抽檢晶粒及所述目標抽檢晶粒的數據均處于所述預設卡控范圍內。

3.根據權利要求1所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據是否均處于預設卡控范圍內的步驟之后，所述方法包括：

若沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據不處于預設卡控范圍內，則基于所述預定方向查找出當前抽檢晶粒的相鄰抽檢晶粒的數據處于所述預設卡控范圍內，并將所述相鄰抽檢晶粒之前的未檢測晶粒的數據放棄賦值；其中，所述當前抽檢晶粒的數據不處于所述預設卡控范圍內。

4.根據權利要求1所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據是否均處于預設卡控范圍內的步驟之后，所述方法包括：

若沿著所述預定方向依序判斷相鄰兩所述抽檢晶粒所對應的所述數據不處于預設卡控范圍內，則基于所述預定方向查找出當前抽檢晶粒的相鄰抽檢晶粒的數據不處于所述預設卡控范圍內，繼續按照所述預定方向查找，直至在其它所述抽檢晶粒中查找到的相鄰抽檢晶粒的數據處于所述預設卡控范圍內停止，并將所述相鄰抽檢晶粒之前的未檢測晶粒的數據放棄賦值；其中，所述當前抽檢晶粒的數據不處于所述預設卡控范圍內。

5.根據權利要求1所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，所述針對相鄰兩所述抽檢晶粒之間的未測試晶粒數據進行賦值；其中，所述未測試晶粒數據的電性參數的賦值按照復制方式進行補充，以及光性參數的賦值按照線性方式補充的步驟之后，所述方法還包括：

若當前抽檢晶粒為所述抽檢晶粒的第一個抽檢晶粒，則將所述第一個抽晶粒之前的未測試晶粒的數據直接采用所述第一個抽檢晶粒的數據。

6.根據權利要求1所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，所述針對相鄰兩所述抽檢晶粒之間的未測試晶粒數據進行賦值；其中，所述未測試晶粒數據的電性參數的賦值按照復制方式進行補充，以及光性參數的賦值按照線性方式補充的步驟之后，所述方法還包括：

若當前抽檢晶粒為所述抽檢晶粒的最后一個抽檢晶粒，則將所述最后一個抽晶粒之后的未測試晶粒的數據直接采用所述最后一個抽檢晶粒的數據。

7.根據權利要求1～6任一項所述的多晶圓跳測賦值方法，其特征在于，所述預設間距是指兩所述抽檢晶粒之間的未檢測晶粒數量呈偶數的間距。