[發明專利]異常檢測裝置、異常檢測方法以及玻璃板的生產方法

在審

• 申請號: 202210819920.0
• 申請日: 2022-07-13
• 公開（公告）號: CN115609466A
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 秋山秀
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/34;B24B49/08;G01N29/04;G01N29/22
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

本發明涉及一種異常檢測裝置，具備：AE傳感器(61)，設于對載置于上部的玻璃板(G)進行加工的研磨平臺(20)；漿料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)開口并與AE傳感器(61)的檢測面(63)相連；液體供給裝置(12)，向漿料流路(29)供給漿料(S)，使漿料(S)介于玻璃板(G)與檢測面(63)之間并從研磨板(40)的上表面(40a)送出；以及異常檢測部(17)，基于來自經由漿料(S)對來自玻璃板(G)的彈性波進行檢測的AE傳感器(61)的檢測信號來判定玻璃板(G)的異常的有無。并且，涉及一種異常檢測方法以及包括該異常檢測方法的玻璃板的生產方法。

技術領域

本發明涉及異常檢測裝置、異常檢測方法以及玻璃板的生產方法。

背景技術

例如，在對于用于LCD(Liquid Crystal Display：液晶顯示器)或OLED(OrganicLight-Emitting Diode：有機發光二極管)等的平板顯示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板的各種加工中，在少數情況下會在玻璃板中產生裂縫等損傷。因此，作為對玻璃板進行研磨的研磨裝置，已知有具備早期對玻璃板的裂縫進行檢測的檢測裝置的裝置(例如參照專利文獻1)。

該檢測裝置具備向玻璃板供給液體的液體供給部、配置于與液體接觸的位置的AE傳感器、對從檢測到來自玻璃板的彈性波的AE傳感器輸入的AE信號進行處理的信號處理部。并且，在該檢測裝置中，信號處理部通過來自AE傳感器的AE信號超過規定的閾值來判斷玻璃板的裂縫。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2020-185659號公報

上述專利文獻1中記載的檢測裝置具有在研磨平臺的上表面開口并與AE傳感器相連的漿料流入孔，供給到研磨墊的漿料流入漿料流入孔并填充。由此，成為漿料介于AE傳感器的檢測面與玻璃板的被研磨面之間的狀態，在該狀態下對來自玻璃板的彈性波進行檢測。

另外，在上述的檢測裝置中，在漿料流入孔內的漿料中混入空氣時，有可能彈性波的傳播被混入到該漿料中的空氣阻擋，難以對玻璃板的微小的裂縫等異常進行檢測。并且，有可能漿料中包含的固體粒子會堆積于AE傳感器的檢測面，基于AE傳感器的玻璃板的裂縫的檢測精度下降。

因此，本發明的目的在于提供一種能夠高精度地檢測對于被加工物的各種加工時的異常的異常檢測裝置、異常檢測方法以及玻璃板的生產方法。

發明內容

本發明由下述結構構成。

(1)一種異常檢測裝置，具備：

AE傳感器，設于對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺；

流路，在所述加工臺的上表面開口并與所述AE傳感器的檢測面相連；

液體供給部，向所述流路供給液體，使所述液體介于所述被加工物與所述檢測面之間并從所述加工臺的上表面送出；以及

異常檢測部，基于來自經由所述液體對來自所述被加工物的彈性波進行檢測的所述AE傳感器的檢測信號來判定所述被加工物的異常的有無。

(2)一種異常檢測方法，其中，

將AE傳感器設置于對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺，

通過供給流路向在所述加工臺的上表面開口并與所述AE傳感器的檢測面相連的流路供給液體，使所述液體介于所述被加工物與所述檢測面之間并從所述加工臺的上表面送出，

利用所述AE傳感器經由所述液體對來自所述被加工物的彈性波進行檢測，

基于來自所述AE傳感器的檢測信號來判定所述被加工物的異常的有無。