[發(fā)明專利]異常檢測裝置、異常檢測方法以及玻璃板的生產(chǎn)方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210819920.0 | 申請日： | 2022-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN115609466A | 公開（公告）日： | 2023-01-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 秋山秀 | 申請（專利權(quán)）人： | AGC株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/10 | 分類號： | B24B37/10;B24B37/34;B24B49/08;G01N29/04;G01N29/22 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人： | 楊青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 異常 檢測 裝置 方法 以及 玻璃板 生產(chǎn) | ||
1.一種異常檢測裝置，具備：
AE傳感器，設(shè)于對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺；
流路，在所述加工臺的上表面開口并與所述AE傳感器的檢測面相連；
液體供給部，向所述流路供給液體，使所述液體介于所述被加工物與所述檢測面之間并從所述加工臺的上表面送出；以及
異常檢測部，基于來自經(jīng)由所述液體對來自所述被加工物的彈性波進行檢測的所述AE傳感器的檢測信號來判定所述被加工物的異常的有無。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異常檢測裝置，其中，
所述AE傳感器配置于所述被加工物的載置位置的正下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的異常檢測裝置，其中，
所述被加工物為玻璃板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項所述的異常檢測裝置，其中，
所述液體為漿料，
所述異常檢測裝置具有氣體供給部，該氣體供給部連接于將所述液體供給部與所述流路相連的供給流路，
所述氣體供給部每隔規(guī)定時間向所述供給流路供給氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項所述的異常檢測裝置，其中，
所述AE傳感器的所述檢測面和所述加工臺的上表面所成的角為0°以上且10°以下。
6.一種異常檢測方法，其中，
將AE傳感器設(shè)置于對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺，
通過供給流路向在所述加工臺的上表面開口并與所述AE傳感器的檢測面相連的流路供給液體，使所述液體介于所述被加工物與所述檢測面之間并從所述加工臺的上表面送出，
利用所述AE傳感器經(jīng)由所述液體對來自所述被加工物的彈性波進行檢測，
基于來自所述AE傳感器的檢測信號來判定所述被加工物的異常的有無。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的異常檢測方法，其中，
將所述AE傳感器配置于所述加工臺中的所述被加工物的載置位置的正下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的異常檢測方法，其中，
所述被加工物為玻璃板。
9.根據(jù)權(quán)利要求6～8中的任一項所述的異常檢測方法，其中，
使用漿料作為所述液體，
每隔規(guī)定時間向所述供給流路供給氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求6～9中的任一項所述的異常檢測方法，其中，
使所述AE傳感器的檢測面和所述加工臺的上表面所成的角為0°以上且10°以下。
11.一種玻璃板的生產(chǎn)方法，包括權(quán)利要求6～10中的任一項所述的異常檢測方法。
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