[發(fā)明專利]一種單晶硅片的生產(chǎn)工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210808423.0
• 申請(qǐng)日: 2022-07-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115070973A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭城;呂明;李充;王永超;弭帥;郭英云;孟玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濟(jì)南科盛電子有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B24B1/00;B08B3/12;B07C5/04;B07C5/34
• 代理公司: 山東瑞宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37268
• 代理人: 呂艷芹

1.一種單晶硅片的生產(chǎn)工藝，其特征在于；包括以下步驟：

S1、切割：在冷卻液的作用下，利用多線切割裝置將單晶硅片切割成不同尺寸大小要求的單晶硅片；

S2、研磨：在研磨液的作用下，利用雙面研磨裝置對(duì)S1中的單晶硅片的上、下表面進(jìn)行研磨，使其表面粗糙度符合工藝要求；

S3、倒角：利用倒角裝置對(duì)S2中的單晶硅片進(jìn)行倒角加工，使其倒角參數(shù)符合工藝要求；

S4、清洗烘干：利用全自動(dòng)超聲清洗裝置對(duì)S3中的單晶硅片進(jìn)行清洗，然后使用烘干設(shè)備對(duì)單晶硅片進(jìn)行烘干；

S5、分選：利用無(wú)接觸式硅片自動(dòng)分選機(jī)，對(duì)S4中的單晶硅片按照不同規(guī)格進(jìn)行分類篩選；

S6、質(zhì)量檢測(cè)：對(duì)同一規(guī)格內(nèi)的單晶硅片進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，將不良品除去。