[發明專利]陣列基板及其制作方法、顯示面板及顯示裝置

在審

• 申請號: 202210798536.7
• 申請日: 2022-07-06
• 公開（公告）號: CN115132762A
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 羅傳寶
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 熊恒定

本申請涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示面板及顯示裝置，該陣列基板包括：基底；源漏極層，設于基底的一側，并用于向感光薄膜晶體管和驅動薄膜晶體管提供源極和漏極；第一半導體層和第二半導體層，設于源漏極層背離基底的一側，并分別用于向驅動薄膜晶體管和感光薄膜晶體管提供有源層，且第一半導體層的材質包括多晶硅，第二半導體層的材質包括非晶硅；第一柵極層和第二柵極層，分別設于第一半導體層和第二半導體層背離源漏極層的一側，并分別用于向驅動薄膜晶體管和感光薄膜晶體管提供柵極，從而在陣列基板應用于顯示面板時，使得顯示面板能夠同時實現優良的感光特性和良好的顯示效果。

【技術領域】

本申請涉及顯示技術領域，具體涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示面板及顯示裝置。

【背景技術】

在當前顯示產業，除不斷提高顯示效果外，人機交互功能的加入已成為新型顯示技術發展的重要方向，如觸控功能越來越多地融入到各種尺寸的LCD、OLED等顯示面板。各類傳感器的加入，為不同類型的人機交互功能提供了更多的可能性。

目前，激光的使用，是遠程交互的一種方案，而且光傳感器在顯示面板中的集成為此方案提供了基礎。但是，現有顯示面板難以同時實現優良的感光特性和良好的顯示效果成為關鍵的技術問題，亟待解決。

【發明內容】

本申請的目的在于提供一種陣列基板及其制作方法、顯示面板及顯示裝置，以解決顯示面板難以同時實現優良的感光特性和良好的顯示效果的問題。

為了解決上述問題，本申請實施例提供了一種陣列基板，該陣列基板包括基底以及設于基底的一側的薄膜晶體管層，薄膜晶體管層包括感光單元和驅動單元，感光單元包括感光薄膜晶體管，驅動單元包括驅動薄膜晶體管，且其中，薄膜晶體管層具體包括：源漏極層，設于基底的一側，并用于向感光薄膜晶體管和驅動薄膜晶體管提供源極和漏極；第一半導體層和第二半導體層，設于源漏極層背離基底的一側，第二半導體層用于向感光薄膜晶體管提供有源層，第一半導體層用于向驅動薄膜晶體管提供有源層，且第二半導體層的材質包括非晶硅，第一半導體層的材質包括多晶硅；第一柵極層和第二柵極層，第二柵極層設于第二半導體層背離源漏極層的一側，并用于向感光薄膜晶體管提供柵極，第一柵極層設于第一半導體層背離源漏極層的一側，并用于向驅動薄膜晶體管提供柵極。

其中，感光單元還包括讀取薄膜晶體管，且源漏極層還用于向讀取薄膜晶體管提供源極和漏極，第一半導體層還用于向讀取薄膜晶體管提供有源層，第一柵極層還用于向讀取薄膜晶體管提供柵極。

其中，薄膜晶體管層還包括：第一遮光層，設于基底與第一半導體層之間，并覆蓋讀取薄膜晶體管的源極和漏極以及驅動薄膜晶體管的源極和漏極。

其中，薄膜晶體管層還包括：柵絕緣層，設于第一半導體層和第二半導體層背離基底的一側，且第一柵極層和第二柵極層設于柵絕緣層背離基底的一側；鈍化層，設于源漏極層背離基底的一側，并覆蓋第一半導體層、第二半導體層、柵絕緣層、第一柵極層，且第二柵極層設于鈍化層背離基底的一側。

其中，薄膜晶體管層還包括：電連接層，設于鈍化層背離基底的一側，并用于將感光薄膜晶體管的源極或漏極電連接至讀取薄膜晶體管的柵極。

其中，薄膜晶體管層還包括：第二遮光層，設于鈍化層背離基底的一側，且第二遮光層在基底上的正投影包含讀取薄膜晶體管的有源層中溝道區在基底上的正投影、以及驅動薄膜晶體管的有源層中溝道區在基底上的正投影。