[發(fā)明專利]盒蓋打開裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210774042.5 | 申請日： | 2022-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN115588635A | 公開（公告）日： | 2023-01-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | T.G.M.奧斯特拉肯;M.H.M.拉默斯;N.科塔里;C.S.加納尼 | 申請（專利權(quán)）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷蘭阿*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 盒蓋 打開 裝置 | ||
1.一種用于半導體襯底處理設備的盒蓋打開裝置(10)，其中，盒蓋打開裝置(10)包括：
外殼(12)，其具有帶有相關(guān)壁開口(32、36)的至少一個壁(30、34)；
門組件(14),其包括配置成用于基本封閉至少一個壁(30、34)的相關(guān)壁開口(32、36)的至少一個門板(40、42)；
傳送機構(gòu)(16),其包括連接到門組件(14)的托架(18)，并且配置為在相關(guān)壁開口(32、36)前面的第一位置和橫向遠離相關(guān)壁開口(32、36)的第二位置之間平行于至少一個壁(30、34)傳送門組件(14),以便允許晶片通過相關(guān)壁開口(32、36)；
至少一個懸架(22、44)，其布置在至少一個門板(40、42)和傳送機構(gòu)(16)之間，其中，至少一個懸架(22、44)包括懸架彈簧組件(20)，該懸架彈簧組件允許至少一個門板(40、42)在垂直于至少一個壁(30、34)的方向上移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒蓋打開裝置，其中，所述至少一個懸架裝置(22、44)包括：
門組件懸架(22)，其中門組件懸架(22)的懸架彈簧組件(20)包括兩個平行板簧(24)，每個板簧通過第一縱向邊緣(26)連接到所述托架(18)，并且每個板簧通過第二縱向邊緣(28)連接到所述門組件(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的盒蓋打開裝置，其中：
所述外殼(12)的至少一個壁(30、34)包括第一壁(30)；
所述至少一個壁開口(32、36)包括在第一壁(30)中的第一壁開口(32)；
所述至少一個門板(40、42)包括第一門板(40)，其配置為基本封閉第一壁開口(32)；
周向可膨脹密封件(62)定位在所述門組件(14)和外殼(12)的第一壁(30)之間，其中周向可膨脹密封件(62)圍繞第一壁開口(32)，其中周向可膨脹密封件(62)具有收縮狀態(tài)和膨脹狀態(tài)，在收縮狀態(tài)下，該密封件不與第一門板(40)和第一壁(30)中的至少一個接合，在膨脹狀態(tài)下，周向可膨脹密封件(62)與第一壁(30)和第一門板(40)密封地接合，并且抵抗所述門組件懸架(22)的懸架彈簧組件(20)的彈簧力推動門組件(14)遠離第一壁(30)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的盒蓋打開裝置，其中，所述門組件(14)包括至少一個硬止擋(64)，用于接合相對于所述外殼(12)固定的止擋接合點，從而限制當被推動遠離所述第一壁(30)時由所述可膨脹密封件(62)引起的門組件(14)的移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的盒蓋打開裝置，其中，所述周向可膨脹密封件(62)連接到所述第一壁(30)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒蓋打開裝置，其中：
所述外殼(12)的至少一個壁(30、34)包括基本彼此平行的第一壁(30)和第二壁(34)；
所述至少一個壁開口(32、36)包括在第一壁(30)中的第一壁開口(32)和在第二壁(34)中的第二壁開口(36)，其中第一壁開口(32)與第二壁開口(36)對準，以便允許晶片沿著基本垂直于第一壁(30)延伸穿過第一壁開口(32)的中心的中心壁開口軸線(38)穿過第一和第二壁開口(32、36)；
所述至少一個門板(40、42)包括配置成基本封閉第一壁開口(32)的第一門板(40)和配置成基本封閉第二壁開口(36)的第二門板(42)；
所述至少一個懸架(22、44)包括支撐第二門板(42)的第二門板懸架(44)，其中第二門板懸架(44)包括致動器組件(46)，該致動器組件(46)配置成實現(xiàn)第二門板(42)相對于第一門板(40)在基本垂直于第二壁(34)的方向上朝向和遠離第二壁(34)的移動，其中第二門板懸架(44)的彈簧組件(20)構(gòu)成致動器組件(46)的一部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的盒蓋打開裝置，其中，所述第二門板懸架(44)包括至少一個第二門板引導件(45)，用于引導所述第二門板(42)在基本垂直于所述第二壁(34)的方向上朝向和遠離第二壁的移動，其中，所述致動器組件(46)配置為與肘桿組件馬達(50)可操作地連接的肘桿組件(48)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
