[發明專利]繪制系統、繪制方法以及記錄有程序的存儲介質

在審

• 申請號: 202210758432.3
• 申請日: 2022-06-29
• 公開（公告）號: CN115734479A
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: 坂本道昭
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;閆劍平

1.一種繪制系統，其特征在于，具備：

對基板照射光來繪制圖案的繪制裝置；以及

創建模板生成信息并將其發送至所述繪制裝置的數據處理裝置，

所述繪制裝置具備：

載臺，其保持事先在上表面上設有第1圖案的所述基板；

對所述基板的所述上表面照射調制后的光的繪制頭；

在與所述基板的所述上表面平行的掃描方向上使所述載臺相對于所述繪制頭相對移動的掃描機構；

拍攝所述第1圖案的一部分的攝像部；

位置檢測部，其通過相對于由所述攝像部獲取的攝像圖像進行使用了模板的圖案匹配來檢測所述基板的位置；

存儲部，其存儲第2CAD數據，該第2CAD數據為在所述第1圖案上繪制的第2圖案的CAD數據；

將所述第2CAD數據柵格化來生成第2柵格數據的數據生成部；以及

繪制控制部，其通過基于所述第2柵格數據以及由所述位置檢測部檢測出的所述基板的位置來控制所述繪制頭以及所述掃描機構，向相對于所述繪制頭在所述掃描方向上相對移動的所述基板執行所述第2圖案的繪制，

所述存儲部還存儲包括表示在所述第1圖案上由所述位置檢測部進行圖案匹配的匹配位置的座標在內的所述模板生成信息，

所述數據生成部將所述第1圖案的CAD數據柵格化來創建中間數據，從所述中間數據生成與所述匹配位置對應的規定大小的區域的圖像數據來作為所述模板，

所述數據處理裝置具備：

在所述第1圖案上設定臨時匹配位置的初始設定部；

匹配位置決定部，其設定與對應于所述臨時匹配位置的所述模板相同大小的臨時模板區域，以所述臨時模板區域為中心設定比所述攝像部的攝像視野大的核對區域，確認在所述核對區域中是否存在表示與所述臨時模板區域相同的圖案的重復區域，在存在所述重復區域的情況下，反復使所述臨時匹配位置向規定方向移動而再次設定所述臨時模板區域以及所述核對區域，來確認是否存在所述重復區域，在不存在所述重疊區域的情況下，將所述臨時匹配位置決定為所述匹配位置；以及

信息創建部，其創建包括表示由所述匹配位置決定部決定的所述匹配位置的座標在內的所述模板生成信息。

2.根據權利要求1所述的繪制系統，其特征在于，

在存在所述重復區域的情況下的由所述匹配位置決定部決定的所述臨時匹配位置的移動方向為所述掃描方向。

3.根據權利要求1所述的繪制系統，其特征在于，

利用所述初始設定部設定有使多個臨時匹配位置列在與所述掃描方向垂直的寬度方向上以等間隔排列的臨時匹配位置組，將所述多個臨時匹配位置列的所述寬度方向上的間隔設在規定值以下，所述多個臨時匹配位置列分別為在所述掃描方向上排列的臨時匹配位置的集合。

4.根據權利要求1所述的繪制系統，其特征在于，

利用所述初始設定部設定有使多個臨時匹配位置列在與所述掃描方向垂直的寬度方向上以等間隔排列的臨時匹配位置組，將所述多個臨時匹配位置列的數量設為規定數量，所述多個臨時匹配位置列分別為在所述掃描方向上排列的臨時匹配位置的集合。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的繪制系統，其特征在于，

在所述基板的所述上表面設定有多個部分繪制區域，該多個部分繪制區域在所述掃描方向以及與所述掃描方向垂直的寬度方向上呈矩陣狀排列并且在每個部分繪制區域中繪制有相同的圖案，

所述初始設定部在所述多個部分繪制區域中的一個部分繪制區域設定臨時匹配位置，

所述匹配位置決定部基于所述臨時匹配位置決定所述一個部分繪制區域內中的匹配位置，在所述多個部分繪制區域中的其他部分繪制區域中，以使相對于所述其他部分繪制區域的相對位置成為與所述匹配位置相對于所述一個部分繪制區域的相對位置相同的方式決定其他部分繪制區域中的匹配位置。