[發明專利]Micro-LED修補載板的制備方法及顯示裝置的Micro-LED修補方法

在審

• 申請號: 202210751902.3
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN115132639A
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 陳書志;李佳育
• 申請（專利權）人: 上海聞泰信息技術有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67;H01L25/075;G09F9/33
• 代理公司: 廣州德科知識產權代理有限公司 44381
• 代理人: 林玉旋;萬振雄

本申請公開了一種Micro?LED修補載板的制備方法及顯示裝置的Micro?LED修補方法，Micro?LED修補載板的制備方法包括：提供Micro?LED晶片和臨時載板，將所述Micro?LED晶片貼合至所述臨時載板上，所述Micro?LED晶片包括襯底以及貼合在所述襯底上的多個Micro?LED芯片；將所述襯底與所述Micro?LED芯片分離，以使所述Micro?LED芯片貼合在所述臨時載板上；獲取所述背板上的缺陷Micro?LED芯片的目標信息，所述目標信息至少包括缺陷Micro?LED芯片的數量以及缺陷Micro?LED芯片的位置信息；提供目標載板，根據所述背板上的缺陷Micro?LED芯片的目標信息，將所述臨時載板上對應于所述目標信息的至少部分Micro?LED芯片轉移至所述目標載板，以得到修補載板。采用本申請的方案，能夠一次對多個缺陷Micro?LED芯片進行修補，因此無需單個進行修補，修補效率高。

技術領域

本申請涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種Micro-LED修補載板的制備方法及顯示裝置的Micro-LED修補方法。

背景技術

微型發光二極管(Micro Light Emitting Diode，Micro-LED)具有自發光顯示特性，其為全固態發光二極管，具有壽命長、亮度高、功耗低、體積較小、超高分辨率等特點，可應用于高溫或輻射等極端環境中。相對于同為自發光顯示的OLED技術，Micro-LED不僅效率較高、壽命較長，材料相對穩定，不易受環境影響，而且還能避免產生殘影現象。

目前，在顯示裝置中，往往需要對顯示裝置的背板上的Micro-LED芯片進行缺陷檢測，當檢測到缺陷時，需對缺陷的Micro-LED芯片進行修補。當前的修補方式一次只能對一個缺陷的Micro-LED芯片進行修補，修補效率非常低下。

發明內容

本申請實施例公開了一種Micro-LED修補載板的制備方法及顯示裝置的Micro-LED修補方法，能夠一次對多個缺陷的Micro-LED芯片進行修補，有效提高修補效率。

為了實現上述目的，第一方面，本申請實施例公開了一種Micro-LED修補載板的制備方法，

所述Micro-LED修補載板應用于顯示裝置，所述顯示裝置包括背板以及陣列排布于所述背板上的多個Micro-LED芯片，所述修補載板用于對所述背板上的缺陷Micro-LED芯片進行修補，所述方法包括：

提供Micro-LED晶片和臨時載板，將所述Micro-LED晶片貼合至所述臨時載板上，所述Micro-LED晶片包括襯底以及貼合在所述襯底上的多個Micro-LED芯片；

將所述襯底與所述Micro-LED芯片分離，以使所述Micro-LED芯片貼合在所述臨時載板上；

獲取所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標信息，所述目標信息至少包括缺陷Micro-LED芯片的數量以及缺陷Micro-LED芯片的位置信息；

提供目標載板，根據所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標信息，將所述臨時載板上對應于所述目標信息的Micro-LED芯片轉移至所述目標載板，以得到修補載板。

作為一種可選地實施方式，采用激光振鏡設備獲取所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標信息。

作為一種可選地實施方式，

所述提供目標載板，根據所述背板上的缺陷Micro-LED芯片的目標信息將所述臨時載板上對應于所述目標信息的Micro-LED芯片轉移至所述目標載板，以得到修補載板，包括：

提供目標載板，所述激光振鏡設備根據所述目標信息，對所述臨時載板上對應于所述目標信息的Micro-LED芯片進行激光解離，以使解離后的所述Micro-LED芯片轉移至所述目標載板，以得到修補載板。